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1、OLED调研报告目目 录录OLED简介OLED目前发展趋势OLED工艺制程OLED曝光设备以及制版设备一、OLED简介基本概念基本概念lOLED （Organic Light-emitting Diodes) 有机发光二极管有机发光二极管lOLED显示与传统的LCD显示方式不同，无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板，当有电流通过时，这些有机材料就会发光。lOLED按发光层材料PM-OLED和AM-OLED。 OLEDOLED基本结构基本结构三明治的结构三明治的结构阴极材料：低功函数金属（Al、Mg、Ca、Ag等) 低功函数符合金属(Mg/Ag）阳极材料：透明或半透明导体（ITO）电子
2、传输层：荧光染料化合物空穴传输层：属于一类芳香胺化合物有机发光层：小分子有机荧光材料 聚合物有机荧光材料玻璃基板 电子和空穴从阴阳两极注入发光层 两者在发光层内结合释放出能量 有机物分子获得能量从基态跃迁到激发态 OLED发光（颜色、亮度）发光原理OLED器件器件的分类的分类OLED显示特点显示特点OLED相比LCD优点优点：自发光，不需背光源，发光效率高;直流低电压驱动；具有快响应特性(微秒级)；宽视角(视角超过170度)；宽温度特性（在4070范围内都可正常工作）；易于实现软屏显示。缺点：寿命较LCD短生产成本高良品率低，难以大规模量产由于是有机发光材料，电流驱动，纳米薄膜等，对水氧敏感，
3、 对ITO薄膜等缺陷敏感，对洁净度敏感。OLED器件器件的应用的应用苹果Apple Watch采用LG AMOLED面板三星Galaxy S6让手机面板“去边角”LG已推出的五代智能手表多采用圆形面板中小尺寸OLED主要应用：智能手机、数码相机、移动手环及平板等产品。大尺寸OLED主要应用：二、OLED目前发展趋势 目前，全球已经有100多家的研究单位和企业投入到OLED的研发和生产中，包括目前市场上的显示巨头，如三星、LG、飞利浦、索尼等公司。整体上讲，OLED的产业化目前已经开始，其中单色，多色和彩色器件已经达到批量生产水平，大尺寸全彩色器件量产仍存在困难。OLED产业中AMOLED占主导
4、地位。我国目前建成的最高世代AMOLED屏生产线为5.5代（1,300 x 1,500mm），主要的切割尺寸以中小尺寸为主。厂商厂商工厂选址工厂选址世代线世代线投资金额投资金额/ /量产时间量产时间设计产能设计产能京东方京东方鄂尔多斯鄂尔多斯5.55.5220220亿人民币亿人民币/201311/201311月月5.4 5.4 万片万片/ /月月天马天马上海上海4.54.54.92 4.92 亿人民币（改造）亿人民币（改造）/2014 /2014 年年3 3 万片万片/ /月月厦门厦门5.55.57070亿人民币亿人民币/2014/20143.6 3.6 万片万片/ /月月国显光电国显光电昆山
5、昆山5.55.52424亿人民币亿人民币/2014 /2014 年年0.4 0.4 万片万片/ /月月激蓝科技激蓝科技信阳信阳4.54.5100 100 亿人民币亿人民币/2014 /2014 年年3 3 万片万片/ /月月和辉光电和辉光电上海上海4.54.56060亿人民币亿人民币/2014 /2014 年年1.5 1.5 万片万片/ /月月维信诺维信诺昆山昆山5.55.5150 150 亿人民币亿人民币/2014 /2014 年年 20142014年国内建成年国内建成OLEDOLED生产线生产线目前国内OLED的需求主要以手机主屏和其他数码产品为主，集中在中小尺寸产品领域。OLED刚刚建成
6、最高世代生产线5.5代，6代还在筹建当中，预计2017年才能投入生产，意外着 AMOLED屏幕仅限于在中小尺寸使用，还不能面向大尺寸的电视市场。中国在大尺寸OLED的研发方面，面临几个问题。第一，面临TFT-LCD的竞争；第二，要考虑到知识产权的问题；第三，技术研发的难点；第四，各国家同行的竞争。另外：中国OLED产业还缺乏相应的产业配套，如驱动电路、导电玻璃、封装玻璃、精密掩模板、有机材料、辅助材料等大多是国外的。设备更是如此，关键的生产设备完全依赖进口。所以，未来一段时间OLED产业以生产以中小尺寸屏幕为主。国内大尺寸OLED发展受阻原因AMOLED面板产值预计面板产值预计2015年达到年
7、达到118亿美元，与亿美元，与2014年相比大涨年相比大涨36%；被动式有机发光二极体；被动式有机发光二极体(PMOLED)则则预计预计2015年会与去年同期相比上涨年会与去年同期相比上涨22%。未来形势未来形势 OLED近期的技术发展方向是解决器件的成品率、寿命和彩色化问题。从长远来看，OLED未来的发展必将沿着小尺寸中尺寸大尺寸超大尺寸、单色多色彩色、无源有源、硬屏软屏的脉络进行发展，最理想的OLED显示器应该是LTPS-TFT OLED。技术瓶颈技术瓶颈 产品成本高、寿命短 三、三、OLED工艺制程OLED-四个关键工艺流程四个关键工艺流程三、OLED工艺制程PM-OLED工艺制程工艺制
8、程光刻光刻AM-OLED工艺制程工艺制程光刻制程光刻制程OLED产业对应掩模版尺寸满足OLED产业6代生产线的掩模版尺寸：800mm*920mm*10mm以下。 : :四、四、OLED曝光设备以及制版设备表表1. OLED曝光设备曝光设备OLED曝光设备曝光设备设备厂商设备厂商机台型号机台型号分辨率分辨率对准对准精度精度产能产能支持基板支持基板尺寸尺寸支支持持OLEDOLED生生产线产线上海微电子装备有限公司SSB225/102um370mm*470mmG2.5代线上海微电子装备有限公司SSB225/202um730mm*920mmG4.5代线日本尼康FX SeriesFX-67S2um 0.
9、5 m1300mm*1500mm/54S1500mm*1850mmG6代线FX-66S3um 0.6 m1300mm*1500mm/52S 1500mm*1850mmG6代线日本佳能MPA-78003um314p/h1200mm*1300mmG5代线MPA-80004um288p/h1500mm*1850mmG6代线OLED曝光设备厂商主要为：日本尼康与佳能曝光设备厂商主要为：日本尼康与佳能 : :OLED制版设备设备厂商机台型号分辨率对准精度产能海德堡DWL20000.5um/1.3um0.16um30mm2/min/370mm2/minMycronicPrexision-800.75um0.05um表表2. 掩膜版曝光设备掩膜版曝光设备OLED-G2.5代线上海微电子装备有限公司上海微电子装备有限公司-SSB系列系列OLED-G4.5代线附件-光刻设备日本尼康-FX系列FX-67S-G6代线FX-66S-G6代线THANKS!
