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1、E84-握手流程（中文版）-标准化文件发布号：（9456-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KIlE84PI/OINTERFACE概要解脱害中文版配布先-CoPYIt-SUM承恐APP作成-DRAWN神檄株式会社Rev日付内容承熬作成000.11.2初版藤原SSG佐野TranslatedbyDonLee/ASTW/TrainingCenter1 背景目的62 E84LE23之不同黠63 限制44 檄器横成65 用明86 控制信虢之槿S67 InterlockTimeout138 通信程序98.1 装载移载98.2 卸载移载119 累常检测129.1 移载勤作始前之昊常1
2、29.2 移截勤作中之昊常139.3 巽常移截重力作接之昊常149.4 GO信虢=OFF燮化229.5 昊常之彳复营1510注意事JW1511 ComIeCtOr及各信虢之分配1612 甯路SensorUnit尺寸261 背景目的半醇醴裂造工摩中，因随著晶Bl尺寸之大，戴飕重量增加及裂造工程化，有厚人以AGV/OHTj代表之自勤搬送系统(AMHS)的趣势。AMHS中、裂造装置舆OHV(台聿)藉由使用PhOtOI/O之通信、来取得Load/Unload之同步。此PhotoI/O通信保藉由SEMI规格来定羲、裂造装置及OHV需迤行遵守此规格的通信控制。SEMl规格中、SS定羲E23作:上述PhOt
3、oI/O通信规格、但於99年以E23基本而重新定羲了功能强化之E84、此E84规格有成J主流的超势。本善你官己述E84规格之概要。又，本善之f象保定迤行舆AMHS装置及半醇醴裂造装置之介面相居昌的信殳声十/管理。2 E84E23之不同黠追加/燮更於E84之JM目如下。 WHandoffSequence 同日寺HandoffSequence 追力口HClavbl信虢、ES信虢 Timer之规定 改言丁Connectorpin之分配3 限制本善僮言己述醇人於OHT系统之E84规格。因此、以下项目舆系统不相故予以割爱。,3WHandoff7同BHandoffSequence使用於速HalIdOff之
4、Timer4 横器横成Iffl4.1示本烧格之E84I/OInterface的遹用例。因4.1E84I/O介面例5用精脱明表5.1g示本耆使用之用用解lActive装置具借移载檄横之装置。遵循SEMlE23规格(C)HT系统中、OHVJg於ACtiVe装置。)Passive装置藉由Active装置来迤行移载之装置。遵循SEMIE23规格Passive装置包含加工装置/Stocker等。本善中、PaSSiVe装置保典装置同羲。AMHS装置(=AutomatedMaterialHandlingSystem)具有可在Passive装置搬送载之功能的装置。RGV:RailGuidedVehicles/
5、AGV:AutomatedGuidedVehicles/OHT:OverheadHoistTransportsP表示Active装置、正迤行Handoff中。ON:正迤行HandOff中。OFF:非迤行Hanck）ff中。Passive装置在READY=ON状憩、可始迤行HandoffH寺、Active装置）符使本信虢ONoHandoff中Passive装置不可迤行任何物理性勤作。SPassive装置招L_REQ（或U_REQ）信虢OFF、IS束Handoff畤、Active装置即揩本信虢OFFo（此畤、把持装置需退出至干涉l三域之外）COMPT(=CompIeteTransfer)Hando
6、ff幺吉束A=P表示Active装置已幺吉束Handoff操作。ON:已幺吉束Handoff0OFF:尚未吉束Handoff0常结束Handoff操作畴（Active装置符BUSY信虢OFF）、ACtiVe装置即揩本信虢ON。PaSSiVe装置在硅到READY三OFF彳爰、Active装置即符本信虢OFFoCONT(=ContinuousHandoff)HandoffAnP表示有HandoffoON:表示速Handoff持中。OFF:辗速Handoffo常有速Handoff日寺、根摞最初移载畤Passive装置之BUSY=ONActive装置即符本信虢ON、根摞最彳爰移载畤Passive装置之
7、BUSY二ON、Active装置即符本信虢OFFoXOHT系统中、现在不使用本信虢。HO_AVBL(=HandoffAvaiIable)可HandoffPnA表示Passive装置装置可迤行Handoff0又亦有表示Passive装置存在某槿昇常之情形。ON:可配合Handoff。OFF:存在某槿昊常辗法配合Handoffo本信虢保在IIfi始迤行Handoff操作前、向Active装置表示PaSSiVe装置之状憩。常PaSSiVe装置正常畴、本信虢ONoPassive装置检测到CS_O信虢所指定之LoadPort存在某槿昇常暗、藉由ACtiVe装置符VALID信虢ON或TR_REO信虢ON、
8、Passive装置即揩本信虢OFFo又富横浏侄既亥Passive装置之其他Loadport有昇常畤、本信虢亦可能OFF。所常保指熊正硅地迤行载Ii椀测。Passive装置一直停留於ManUaIModeoPassive装置辗法配合Handoff之状憨。ES(二EmergencyStop)聚急停止PnA保要求聚急停止Active装置之勤作。ON:正常操作OFF：要求聚急停止Passive装置判危尤兄畤、立即停止Handoff而符本信虢OFFo所危（尤兄保指恐及资源或裂造物畴。封作渠工程曾造成害之情形。赞生Handoff-Interlock巽常之情形O常按下Passive装置俱IJ之ES（或EMO）按B寺。通常、ACtiVe装置在VALlDONOFF之本信珑O7InterlockTimeoutACtiVe装置但IJ之Timer(TA=TimerofActiveequipment)及PaSSiVe装置假IJ之Timer(TP=TimerofPassiveequipment)如表7.1及表7.2所示。各Timer、保以椀测装载/卸载H寺Interlock之昇常J目的。TimerTimer之期Gffl（秒）覆音殳值（秒）TA1
