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1、国家标准氧化锌铝靶材编制说明书（预审稿）国家标准氧化锌铝靶材起草小组2023年11月20日氧化锌铝靶材国家标准编制说明一、任务来源根据国标委发202239号、项目编号20221008-T-610的文件要求，国家标准氧化锌铝靶材制定任务由先导薄膜材料（广东）有限公司负责完成，标准制定参与单位为：成都中建材光电材料有限公司、株洲株洲火炬安泰新材料有限公司、芜湖映日科技股份有限公司、深圳市中金岭南有色金属股份有限公司、广东欧莱高新材料股份有限公司、河北恒博新材料科技股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司、福建阿石创新材料股份公司等，完成年限为2024年。二、工作简况1、标准制定的目的和意义氧化锌铝（
2、简称AZO）靶材是将氧化锌和氧化铝粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型，再经过高温气氛烧结形成的黑色陶瓷材料半导体，氧化锌铝薄膜具有导电率低、可见光区域透射率高、红外区域反射率高、紫外区域吸收率高等显著特点，这种在光全谱范围内性能特征的显著性使得AZO靶材在各种科技领域中都有着广泛的应用，在磁控溅射和激光溅射等辐射薄膜技术中，AZO靶材可作为靶材使用。由于其高密度和良好的热传导性，AZO靶材能在制备AZO薄膜过程中实现均匀散热，保证涂膜的均匀性，进而提升薄膜制品的性能和稳定性。因而AZO薄膜材料的光电设备中有着广泛的应用，例如在太阳能电池、平板显示器、触摸屏等设备中，AZO薄膜不仅
3、可以作为有效的导电介质，而且还能起到光学调制的作用，优化设备的性能。AZO靶材是制备透明导电薄膜（TCO）的理想材料C透明导电薄膜结合了透明性和导电性两种优秀性质，这使得AZO薄膜在制造触摸屏、太阳能电池、有机发光二极管（OLED）等设备时，成为了重要的靶材材料之一。AZO另一个重要的应用是应用于节能建筑上。AZo靶材因为其良好的热传导性和高光透明度使其在节能建筑中有着广泛的应用，AZO节能玻璃涂层可以作为智能窗户的一部分，有助于调节室内温度，从而节省能源。目前在建筑玻璃行业，国产磁控溅射镀膜生产线的生产能力已和进口的生产线产能和质量已基本相当，AZo靶材磁控溅射的生产成本已远低于贵金属银靶材
4、的生产成本，市场前景极为广阔。氧化锌铝靶材的氧化锌和氧化铝按照不同的比例形成了不同的产品类型，现在市场主要的质量比类型有Zno:A1203:98:2和Zno:A1203:98.85:1.15两种类型。产品的外形有平面型和管型两种类型，一般称为平面靶和旋转靶。ITO靶材的纯度、电阻率、外观质量、内部缺陷、相对密度等指标对最终产品质量有着决定性影响。随着我国的科技进步及产业的发展，以前AZo靶材市场几乎由国外垄断局面已改变为有我国的ITO靶材产量已占全球AZO靶材市场和产能40%以上，产品覆盖高中低端全范围。国家标准化管理委员会发布的2021年国家标准立项指南第（二）章节强调：加强“碳达峰”标准化
5、支撑力度，加快新能源开发利用、电力储能、需求侧等的管理，推进能源互联网标准化工作，推进光伏能源标准体系建设，而氧化锌铝靶材就是极具前景的建筑节能玻璃的核心基础材料。目前国内外无氧化锌铝靶材标准，制定氧化锌铝靶材国家标准将在产业引和升级方面起到助推作用，这对于加快建设太阳能及显示技术现代化产业体系，加速壮大高端装备战略性新兴产业，有重要作用。2申报单位简介先导薄膜材料（广东）有限公司成立于2003年5月，坐落在山清水秀的清远市清新区禾云镇工业区，紧邻清连高速，距广州市区仅90分钟车程，地理位置环境优越，交通便利C是一家集硒、确、锈、钱、锢、楮等稀有金属及其化合物的研发、生产、销售为一体的大型高新
6、技术企业，产品广泛应用于玻璃、陶瓷、电解镒、饲料、电子、通讯、光电半导体材料、热成像、探测器及太阳能光伏材料等行业C稀散金属硒、碑、锢、镣、褚等以金属量计占全球35%以上的市场份额。先导薄膜材料（广东）有限公司是国家高新技术企业，是国家工程技术中心的所在单位，公司有多项产品如硒化锌红外激光材料和镜片、半导体珅化镣、ITO靶材、确锌镉靶材、确锌镉晶体窗口材料等均是填补了国家战略新型材料空白的产品，并且产品质量和产量均和中国的发展趋势一般节节攀升。公司注册资金约100o万美元，占地面积IOoO余亩，建筑面积50000余平方米，大型生产设备500余台，员工3000余人，其中专业技术人员600多名，配
7、有等离子体发射光谱仪、等离子质谱仪、辉光放电质谱仪、电子扫描电镜、原子吸收光谱仪、测氧仪、粒度仪、差热仪、X衍射仪、X荧光仪、红外光谱仪、高效气相质谱仪、液相质谱仪、离子色谱仪等先进的检测仪器,可进行多种化学元素的分析检测，公司的产品检测能力在国内外处于领先水平。公司先后通过了IS09001质量管理体系认证，欧盟饲料添加剂FAMl-QS认证，并建立了IS014001环境管理体系，OHSAS18001职业健康管理体系，GMP良好操作规范和IS022000食品安全管理体系。成都中建材光电材料有限公司：株洲株洲火炬安泰新材料有限公司：芜湖映日科技股份有限公司：深圳市中金岭南有色金属股份有限公司：广东
8、欧莱高新材料股份有限公司：河北恒博新材料科技股份有限公司：广东先导稀材股份有限公司：福建阿石创新材料股份公司：3主要工作过程3.1 2021年11月中国有色金属标准化委员会年会在常州召开，先导薄膜材料（广东）有限公司在会上提交了修订申请报告，国内氧化锌铝靶材生产企业基本参加了此次年会认证，会上针对当前国内氧化锌铝靶材生产经营使用的实际情况，广泛征求参会人员的意见，经讨论后同意全国有色金属标准化技术委员会向国标委提交申报，由先导薄膜（广东）有限公司主导制定氧化锌铝靶材标准。3.2 在2022年10月，国标委批准了由先导薄膜材料（广东）有限公司起草修订国家标准氧化锌铝靶材，项目的批准文号为2022
9、39号、项目编成都中建材光电材料有限公司、号为20221008-T-610,并确认了株洲火炬安泰新材料有限公司、芜湖映曰科技股份有限公司、深圳市中金岭南有色金属等参与修订。3.3标准修订原则（1）应遵循最新的标准起草规范要求起草标准；（2）标准适用范围应覆盖氧化锌铝靶材的各个范围；（3）标准的制定应重点关注和解决在生产和经营使用实际情况中的技术要求、试验方法、检验要求，准确体现和反应行业现状和要求及发展要求，对氧化锌铝靶材生产、贸易、使用企业的方方面面的各项工作要求起到指导作用。3.4 标准制定工作的时间安排2022年12月2023年2月：完成调研工作，形成讨论稿；2023年3月：召开讨论会；
10、2023年12月：召开预审会；2023年12月2024年2月：召开审定会。3.5 任务落实会议结束后，先导薄膜材料（广东）有限公司牵头随即成立了氧化锌铝靶材国家标准编制组，并对标准编制工作组成员进行了职责分工。各起草单位及起草人员的工作分3.5.1在2020年8月进行的任务落实会议上，根据各起草单位的实际情况和要求，确定了起草单位和参与起草单位，各家单位的工作任务如下表1。表1起草单位和验证单位的工作任务序号单位名称工作任务1先导薄膜材料（广东）有限公司主起草单位，负责标准相关资料的收集整理、标准文本及编制说明的编写，标准讨论预审及审定会议的解答和意见建议落实。2成都中建材光电材料有限公司参与
11、起草单位，对标准各项技术指标的提出相关意见和建议，参加标准的讨论、预审及审定工作。3株洲火炬安泰新材料有限公司第一参与起草单位，对标准各项技术指标的提出相关意见和建议，参加标准的讨论、预审及审定工作。4芜湖映日科技股份有限公司参与起草单位，对标准各项技术指标的提出相关意见和建议,组织标准的讨论、预审及审定工作，指导标准文本及编制说明的编写修改工作。5成都中建材光电材料有限公司参与起草单位，对标准各项技术指标的提出相关意见和建议，参加标准的讨论、预审及审定工作。6深圳市中金岭南有色金属股份有限公司参与起草单位，提出该单位的相关生产经验和建议，对标准的结构和表述提出意见和7广东欧莱新材料股份有限公
12、司参与起草单位，对标准的文本及结构提供相关建议，对引用标准提出意见和建议8河北恒博新材料科技股份有限公司参与起草单位,对标准的文本及结构提供相关建议，对引用标准提出意见和建议9广东先导稀材股份有限公司参与起草单位，对标准的文本及结构提供相关建议，对引用标准提出意见和建议10福建阿石创新材料股份公司参与起草单位，对标准的文本及结构提供相关建议，对引用标准提出意见和建议3.5 2本文件主要起草人有：各起草人在本文件编制过程中的工作职责见表2所示：表2各起草人及其工作职责起草人姓名工作职责余芳、朱赞芳负责标准的工作指导、组织协调及编写的技术把关，负责标准的各阶段的解答和意见及建议的落实工作；完成标准
13、文本和编制说明的撰写参加标准各项相关指标或内容的编写和确认，参加标准的讨论、预审及审定工作，参加收集整理与标准相关的各类信息和意见，对文本的结构和技术指标等提出意见或建议，3.6 2023年2月27日，标准编制组向与本标准有关的单位和部门发出了氧化锌铝靶材国家标准（讨论稿）。三、外文版要求国家标准化管理委员会要求在新修订的氧化锌铝靶材发布实施后，同步发布实施外文版氧化锌铝靶材，围绕外文版的标准工作要求，将按照以下要求及安排进行：四、标准修订编制原则1、氧化锌铝靶材国家标准是推荐性国家标准，应按照GB/T1.12020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草，有色金属标准化技
14、术委员会针对最新版的标准起草要求做了深入的培训，按照培训要求及编写实力、示例编写本标准。3.7 氧化锌铝靶材修订标准的要求和内容，要统一考虑国际、国内两个市场的供需情况，标准的制定尽量采用国际国外先进标准，与国际接轨，制定出的标准既可以给行业提供执行和规范要求并且执行和使用清晰明了，也可以让行业之外的其他部门了解行业状况。五、标准制定的主要内容和制定依据5.1 国内各生产单位的主要产品统计表5.1.1 先导薄膜材料（广东）有限公司的氧化锌铝靶材技术指标统计见表3表3先导公司氧化锌铝靶材技术指标统计表d,chU3相对密电阻率（10-线膨胀系抗弯曲强残余应晶粒尺寸（u11l）单位面积表面粗糙外观其
15、他度(%)Qcm)数（C）度(MPa)力（Ba）平均值最大值值气孔个数（/cm2）度，不大于（Um）质量要求AZO-I9&2231/146711.018.910.8灰色/AZO-I99.11.76/15179.720.500.8灰色/Z0-l9&61.23/13869.820.910.7灰色tAZO-I9&61.69/149710.621.210.9灰色/Z0-l9&71.09/138710.421.720.9灰色/AZO-I99.01.65/141611.122.000.8灰色/AZO-I9&71.84/154710.020.410.9灰色/AZO-I9&71.03/135710.519.810.8灰色tAZO-I9a52.21
