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1、ESDESD培训资料培训资料Content基础概念接地系统介绍（ESD控制）u工作区防ESDu其他ESD措施u静电防护：治具u静电防护：接地链u静电防护：材料类u离子风机的使用接地系统的日常检测及维护ESD消除系统日常维护ESD消除系统失效处理ESD防护总结 基础概念 静电就是静止的电荷，就是物体表面有多余 的电荷（正电荷或负电荷）存在。静电产生有三种方法：N摩擦N相接触的两个物体发生分离N静电感应产生静电（1）静电的概念基础概念）带有静电的物体靠近或接触另一物体，只要它们之间存在电势差，就会发生静电荷传递。这种静电荷传递过程我们称之为静电泄放。当这种静电荷传递的过程强度足够大，大到可以损坏我
2、们的产品，我们就称之为ESD事件。（2）ESD的概念任何物体都可以产生静电 ！ 在我们的工作区域所有物体都可以产生静电! 手推车，椅子，机械手，粘胶带，周转箱和其它物料输送物品 人体，手套，无尘布，无尘服，普通衣服 工作台表面，CRT电脑显示器，手动工具，纸，笔记本，文件夹，笔 墙壁，地板，溶剂瓶 ESD 包装，非ESD 包装 等等都可以产生静电。基础概念（3）产生静电的物体 基础概念（4）ESD的危害人体对大于的静电才有感觉！但是磁头PCB/PCC电路板梳头发撕贴胶带走路ESD 是 隐 藏 的 敌 人听到5000V感觉到3000V看到8000V电子元件受损100-500V 基础概念我司使用的
3、材料内ESD敏感元件为L-BAR，其静电敏感等级采用人体模式（人体带电与器件接触）进行划分，要求的电压范围250V 基础概念（4）ESD如何损害产品大量的静电荷在存在电势差的物体（人或机器）与产品之间快速传递，短时间内产生很大的电流（远远超过产品可以承受的电流）重则损毁电路，造成产品不能使用；轻则使电路过热受到损伤，影响产品的寿命和可靠性。被ESD损毁的产品使电子元件受损的使电子元件受损的潜在缺陷潜在缺陷占占90% 在厂内很难被发现在厂内很难被发现电子元件电子元件即时失效即时失效只占只占10% 在厂内可被发现在厂内可被发现 基础概念（5）静电对人体的危害诱发心律失常当瞬间电压过大时，人会感到一
4、种燥热感，并有烦躁、头痛的感觉。在冬季，约三分之一的心血管疾病都与静电有关。老年人更容易受静电的影响，尤其心血管系统本来就有各种病变的老年人，静电更会使病情加重，或诱发早搏、心律失常。导致血钙流失持久的静电还可使血的碱性升高，血清中钙含量减少，尿中钙排泄量增加。引发皮肤炎症静电吸附的大量尘埃中含有多种病毒、细菌与有害物质，尤其是尼龙、涤纶、聚丙烯腈纤维和醋酯纤维这些化纤材料制成的衣服，最容易引起皮肤炎症。影响中枢神经过多的静电在人体内的堆积，会引起脑神经细胞膜电流传导异常，影响中枢神经，使人出现头晕、头痛、烦躁、失眠、食欲不振、焦躁不安、精神恍惚等症状。影响孕激素水平人体静电对孕产妇的健康危害
5、最大，可致孕产妇体内孕激素水平下降，容易感到疲劳、烦躁和头痛等 基础概念（5）影响静电产生的因素1 在地毯上走路2 穿普通鞋在ESD地板上走路（不使用静电环） 3 穿ESD安全的鞋在ESD地板上（使用静电环） 5 摩擦绝缘材料35000V 8000V 1500V10000V 4000V 200V50V 10V 0V环境相对湿度10-20%RH 40-50%RH 70-90%RH4000V 1500V 300V决定静电产生多少的因素主要有：1 材料的导电性能：导电材料和静电消耗材料产生比较少的静电，绝缘材料产生很多的静电。2 环境相对湿度对静电的产生有很大的影响，相对湿度大（空气潮湿）静电产生就
6、少，ESD的 问题就少。反之，相对湿度小ESD的问题就多。 3 ESD地板， ESD安全的鞋（包括太空服）及腕带 的使用对于降低人体产生的静电也是非常 有效的。另外在地板上走动比不走动产生更多的静电。11接地系统工 作 接 地治具工作台机台电器用件静电手环作业人员接地人机GND工作台电器用件人员测试机台治具接地系统（1）：接地系统（2）： 接地系统介绍（ESD控制） 工作区防ESD：组装及检验离子风机对准作业区离子风机对准作业区静电手环导电皮作业要求：1)离子风扇开启2)人员静电环接地离子风机工作距离调整到离工作面为2050CM 工作区防ESD：其它流水线首离子风机离子风机吹风的范围- 粘胶带
7、的使用必须控制到最少，如果必须使用，应使用 ESD 安全的胶带- 对非ESD 安全的胶带，在撕胶带，贴胶带和揭胶带时应在离子风机下进行或远离产品 12英寸以外进行。- 维修设备，联接电线等禁止使用粘胶带。ESD胶带撕贴胶带会产生很高的静电，由于胶带是绝缘材料，产生的静电可以保留较长时间。不是生产工艺必须的胶带必须从工作台上拿走，严禁使用胶带来固定物体或电气维修。 工作区防ESD：其它 静电防护：治具治具与工作桌良好导通（测量值在管制值范围内）夹静电环处地线治具与工作桌OK注意：显示值注意：显示值1，说明接地线接地，说明接地线接地OK, 如显示数值为如显示数值为1.则说明接地线未接地则说明接地线
8、未接地。16通过接地链与地面良好导通 静电防护：接地链 静电防护：材料类会产生静电的材料有：膜材和LGP，在使用前要在离子风机下先消除静电！针对防静电包装材料TRAY和静电袋，IQC在材料入检时要测试抗静电阻值，具体规格参照各材料图面。 离子风机的使用离子风扇电源开启状态时不可以触摸，因放电针加有20kV的高电压，会造成触电的危险。离子风扇使用时需将风量调至最大以保证静电消除功能最大。离子风扇保养时需将电源关闭再行点检。离子风扇静电消除量测： 量测仪器：静电测试仪QUICK432 量测距离： 30cm左右的距离 衰减标准：1000V降低到100V的时间（5S以下OK）。 平衡电压/残余电压：0
9、50V静电鞋测试 (1) 人员穿着防静电服/ 防静电鞋/ 袜（静电从脚导到大地）19 接地系统日常检测及维护静电环测试 （2）佩戴防静电环并接地 （静电从手导到大地） 接地系统日常检测及维护21 未戴静电环禁止接触产品调整手带的松紧，保证静电带金属部分紧贴皮肤 接地系统日常检测及维护静电环检测员工在每天进入无尘室之前，要在风淋门门口对自己的静电环进行自检，并填写相关项目的测试记录。 测试时，将静电手环夹在测试点，若按下按钮，绿灯GOOD亮，代表静电环OK，可正常使用，若红灯light或low红灯亮时，标示静电手环不符合规格，禁止使用静电环测试点测试记录 接地系统日常检测及维护 接地系统日常检测
10、及维护（3）接地线检测 厂内使用万用表检查接地线接地状况，检查时万用表量测工作台测点与工程共地点之间电阻值（详情见接地电阻测试仪SOP）。 制造部门针对厂内所有接地测点，进行量测（1次/日），一旦发现阻值超标准，立即通知工务进行处理。 接地电阻测量表 接地系统日常检测及维护200选择三相万用表的档位，量程选择200用万用表量测相邻的两张工作台之间的电阻，测得的电阻值5，则为OK用万用表量测接地基准点和静电接地线之间的电阻测得的电阻值5，则为OK（a）工作台与工作台（b）接地线与基点 ESD消除系统日常维护25离子风机日点检流程：离子风机日点检流程：起班外观清洁放电针清洁外观清洁电源指示灯风扇运
11、转正常使用点检记录NG仪器维修OKNG使用部门提出检修单后，工务科实施维修2H一次5S时也需要点检离子风机备注：每月有体系监察科实施离子风机除静电能力的检测，发现问题立即开出问题联络书给使用部门 ESD消除系统日常维护1.旋转风机上的毛刷旋钮，清洁风机内的放电针。2.清洁440时只需顺时针旋转中间的旋纽，幅度为360度，然后把手松开使其自动复位，重复三次。3. 每班作业前清洁一次。4.用蘸酒精的棉棒清洁风机出风口内的金属条，清除粉尘，表面不可有污物。清洁每班开班前清洁一次。5.用镊子夹好无尘布蘸少许酒精伸进风机内部擦拭放电针，清除粉尘。表面不可有污物。每班开班前清洁一次6.打开离子风机外壳，用
12、无尘布蘸酒精擦洗离子风机内部，去除里面的粉尘，频率为每3月1次，在产线空闲时进行。7.用干净的过滤网更换离子风机后部的过滤网，频率为每3月1次，在产线空闲时进行（无过滤网无需更换） ESD消除系统实效日常处理 离子风扇失效处理： 1)正常作业时，离子风扇的指示灯会亮，表明离子风扇正常工作。 2)当指示灯不亮，或者风扇无法运转，需要立即关掉电源通知工务科进行维修 3)故障现象排除方法（见下表）：故障现象处理方法1.指示灯不亮 检查电源线是否松脱，若正常则更换离子风扇2.正负离子指示灯不亮检查出风口是否有风量流出，若有则更换离子风扇3.风扇无法运转检查电源线与电源开关是否正常，若正常则更换离子风扇
13、4.消散秒树或平衡电压过大1.放电针清洁 2.调整正负离子平衡值 3.更换离子风扇1） 在ESD安全的工位处理对ESD敏感产品。2） 在处理对ESD敏感产品之前戴上腕带，防静电手套。3） 对所有金属设备和工具进行接地处理。4） 让ESD敏感产品与绝缘材料最少保持约30公分的距离。 （如果对产品进行了保护如：产品放在ESD包内，放在盖上盖子的ESD 安全 物料盒内；如果对绝缘材料进行了屏蔽或使用了离子风机，ESD敏感产品 与绝缘材料之间不受这个距离的限制。）5） 总是保持工作区域干净整洁，拿走不必要的物料，特别是拿走不是生产必需 的普通塑料制品，纸制品及个人物品。6） 对ESD敏感产品可能接触的设备部件，测量设备接地，确保牢固有效安全。7） 不要用金属物体接触对ESD敏感产品的暴露的输入电路，减少对ESD敏感产 品不必要的接触。8） 服从无尘室入室规则，作业及SOP操作要求。 EDS防护总结The EndTHANKS
