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1、2023年度河南省重大科技专项项目申报指南一、电子信息领域专项1：天基全光中继网络系统研究及地面验证应用专项简介：该专项以星地数传需求为导向，突破基于软件定义的全光中继卫星组网、基于天基微波链路的星间组网控制、轻小型/低成本激光通信终端以及超宽带星地数传等关键技术，并开展工程建设核心网络技术相关示范验证，为未来天基全光中继网络的全面工程实施做好技术储备，推动激光雷达、测控通信等领域的民用产品孵化,为我省战略性新兴产业的壮大以及产业数字化转型升级提供新一代网络信息基础支撑。研究内容：研究基于软件定义的高动态场景下的全光中继卫星组网总体技术，实现天地一体化信息网络在大尺度复杂态下的多节点灵活组网控
2、制；研究基于天基微波控制平面+全光数据平面的星间数据交换技术，实现星间宽带数据高效费比中继交换；研究超宽带、多载波高阶调制体制的星地数据传输技术，实现多用户数据下传及分发的智能频率聚合；研制小型化、低成本、轻量化激光通信终端，实现无信标的激光通信快速建链；提出天基全光中继网络系统地面演示应用方案，突破关键核心技术，为大规模工程实施提供设计依据。考核指标：完成天基全光中继网络系统设计，网络容量N1.OoOO个（网络在线用户数量100个），网络总带宽200Gbps,网络重构时间优于5秒，软件定义网络功能时间优于10秒；研制直接探测型中继激光通信终端，通信速率21.25Gbps,链路距离N20000
3、km;平均捕获时间10s（FOUImrad）,终端重量13kg,终端功耗40m天，连续皮带机适应小曲线范围R100m;形成抽水蓄能电站洞室开挖TBM施工成套化装备一套，并实现8台以上推广应用；授权发明专利5项以上。申报要求：由企业牵头申报。专项5：复杂环境下MEMS氢气敏感元件及传感器关键技术研究与产业化专项简介：围绕大型火电及核电、氢能源、储能等产业对于高性能氢气传感器的巨量需求，开展高温、高湿、强辐照环境下MEMS氢气传感器的感知、设计制造、封测工艺等重大关键技术的研究。解决适用于复杂环境下氢敏材料的制备、氢敏薄膜与微加热板的集成工艺与传感阵列制造、器件级传感芯片的封测等技术难题，开发系列
4、化高性能氢气传感器，打破国外垄断、推进国产化高性能MEMS氢气传感器的产业化进程，实现其在大型火电及核电、氢能源、储能等领域的规模化应用。研究内容：针对现有的氢气检测技术选择性差、环境耐受性低等问题，研究高选择性、耐高温、抗辐射的新型氢敏材料及多气体交叉干扰抑制和防护技术；研究低功耗、阵列传感器单元加工技术；开发MEMS氢气传感器器件级封装、测试、老化、校验等产业化技术；研制高性能、小体积的MEMS氢气传感器模组及集成传感器的在线监测仪表，在大型火电及核电、氢能源、储能等氢气浓度监测场景开展应用验证。考核指标：研制出适用于核电、氢能源、火电及储能等领域氢气浓度测量的系列化高性能氢气传感器模组及
5、在线监测仪表。传感器测量范围：(0-100%)vo1.；重复性31.5%；传感器工作条件满足：02、CO、CH4及CO2无交叉干扰；工作环境温度：(-30150)、湿度0IoO%RH；在射线连续辐照下，传感器零点漂移W2%FS;实现产业化应用，新建MEMS氢气传感器生产线1条，实现产能不低于40000支/年；在核电、大型火电、氢能源等领域形成示范应用；申请发明专利5项以上。申报要求：由企业牵头申报。三、新材料领域专项6：高纯硅烷CVD法制备区熔级多晶硅关键技术研究及产业化专项简介：该专项围绕促进煤化工产业高端化、多元化、低碳化发展需求，以高纯硅烷为原料，采用化学气相沉积法开展半导体硅材料（区熔
6、级多晶硅棒）研究，形成区熔级多晶硅工艺技术，建设产业化装置，推动高压大功率半导体元器件用区熔级多晶硅逐步国产化替代。研究内容：开展硅烷法制备区熔级多晶硅工艺及电控技术研究，通过CFD软件模拟CVD全过程，优化工艺参数，改造还原炉内部结构，实现大尺寸硅棒的均匀生长、降低均相反应，减少硅粉率，解决硅棒杂质多、硅棒内部应力大、硅棒易产生枝晶等问题，突破硅烷法制备区熔级多晶硅关键工艺、装备和控制技术。考核指标：形成具有自主知识产权的硅烷法制备区熔级多晶硅新工艺，产品关键技术指标：硅棒纯度达到I1.N以上，施主杂质S20ppta、受主杂质SIOPPta、碳含量020ppba、体金属SO.Ippbw等。建
7、成生产线并稳定运行，年产能250吨以上。申请发明专利2件以上。申报要求：由企业牵头申报。专项7：关键领域转动部件用低成本高品质海绵钛关键技术研发及产业化专项简介：该专项聚焦我省钛产业链前端国产钛渣在沸腾氯化中适应性差，以及关键领域转动部件用海绵钛品质要求高、难以规模化生产等难题，开展国产高钛渣大型沸腾氯化技术和转动部件用海绵钛高纯净、高均匀、高一致制备技术研发，实现钛产业上游基础原材料自主可控、下游关键产品技术突破封锁，为国防军工、商用大飞机等国家工程建设提供高端海绵钛原材料。研究内容：开展国产钛渣在大型沸腾氯化炉中的反应机理研究，建立沸腾氯化反应模型，突破大型沸腾氯化用高钛渣多级高效排渣控制技术，实现高钛渣在沸腾氯化系统的长效稳定运行；开展四氯化钛全相除杂高效提纯技术、液镁精炼及镁蒸镭装备研究，实现四氯化钛、镁等过程原料成分纯净均匀稳定
