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1、碳化硅衬底片出货标准一、目的本标准规定了碳化硅衬底片出货的要求,以确保产品满足客户和公司的高品质要求。二、碳化硅衬底片出货标准1.尺寸精度(1)长宽尺寸:+0.5三;(2)厚度尺寸:土Cumm。2.表面质量(1)表面应光滑、洁净,无划痕、杂质、色差及明显凹陷;(2)表面粗糙度Ra应不大于O.5Um。3化学成分(1)碳含量应在规定范围内,以保证材料的物理和机械性能;(2)其他微量元素含量也应符合相关标准。4.物理性质(1)密度应为3.15g/cm3左右,以符合材料强度和刚度的要求;(2)热膨胀系数应在规定范围内,以适应不同的应用环境。5.机械性能(1)硬度:HVlOOO以上;(2)抗拉强度:10
2、0OMPa;(3)抗压强度:800MPa;(4)抗弯强度:250MPao6.热学性能(1)热导率:2300WmK;(2)热膨胀系数:410-6Co7.光学性能透光率应在规定范围内,以适应不同的光学应用。8.稳定性(1)尺寸稳定性:在25。C温度下放置24小时,尺寸变化率应不大于0.5%;(2)化学稳定性:在规定的环境条件下,经过一定时间后,其化学成分和物理性质应保持稳定。9.无缺陷产品应无裂纹、气泡、夹杂物等明显缺陷。在出货前,需进行严格的质量检验,确保产品无缺陷。检验人员发现不合格的产品时,检验员有权拒绝在检验报告上签字,并可同时拒绝继续接收不合格的产品.只有当用户同意降低检验水平并采取相应措施后才接收产品重大质量不合格将依据公司有关规定对责任部门实施考核,由质量控制部负责统计汇总每月不合格批次并上报总经理。每年由质量管理部组织相关部门对各类不合格的质量情况进行评审,并采取相应的纠正预防措施。只有当用户同意降低检验水平并采取相应措施后才接收产品.重大质量不合格将依据公司有关规定对责任部门实施考核,由质量控制部负责统计汇总每月不合格批次并上报总经理。每年由质量管理部组织相关部门对各类不合格的质量情况进行评审,并采取相应的纠正预防措施。