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1、附件一：需求模板（通用类）项目名称深圳超滑技术平台建设资助是否预选项目否采购人名称深圳清华大学研究院采购方式公开招标财政预算限额（元）998万人民币项目背景该项目为深圳市科技创新委员会深圳超滑技术平台建设项目，批复文号深圳科技创新2019353号，项目资金已到位，采购金额为998万人民币，采购方式为公开招标，采购资金从超滑设备平台项目支付。投标人资质要求1）具有独立法人资格（提供合法有效的营业执照原件扫描件，原件备查）；2）参与政府采购项目投标的供应商近三年内无行贿犯罪记录（由采购中心定期向市人民检察院申请对政府采购供应商库中注册有效的供应商进行集中查询，投标文件中无需提供证明材料）；货物清单
2、采购设备序号采购设备名称1激光直写仪2磨抛清洗机3高速图像采集仪采购设备1：激光直写仪具体技术要求说明：投标人须如实填写技术规格偏离表，并按招标文件的要求提供相关证明资料，包括产品原厂晓明书或产品彩页等。提供的证明资料与投标响应情况不相符的，视为技术规格偏离表填写不实。序号名称招标技术要求1激光直写仪1.激光直写仪系统概述与配置要求1.1概述：激光直写仪主要用于半导体晶圆、方片等各种衬底上亚微米/微米线宽的图形化工艺及掩模版制备工艺。1.2设备至少包括以下主要部件：温控罩、防震台、激光器、LED光源模块、光学系统、样品台系统、图形影像测量系统、控制系统（硬件及软件）、数据转换系统（硬件及软件）
3、等。1.3配置半导体激光器（激光波段405nm）;搭配紫外线LED光源（波段365nm）系统模块。2.激光直写仪设备主要功能要求2.1适用光刻胶的激光直写曝光。2.2操作方式：手动放样和取样，自动进行曝光处理。2.3配备独立的数据处理计算机，并配有相应的数据转换处理软件，可接受数据格式至少包括DXF、CIF.GDS、Gerber等。2.4配备图形影像摄像装置及测量软件，具备线宽、线距、坐标、距离、边缘粗糙度测量。2.6配备大理石花岗岩机座及气浮防震装置。2.7具备光学自动聚焦功能。2.8激光读写头可更换。2.9控制软件系统：基于WindoWS操作系统。2.10配备温控罩，保证曝光核心区域洁净度
4、CIaSSl0、温度波动控制在0.5。C范围内。2.11具备完备的安全预防与互锁功能。2.12具备光刻胶3维结构灰度曝光功能2.12.1 激光控制灰度阶数：2255阶；2.12.2 数据格式：至少支持BMP/STL/DXF/XxZASCII等数据格式。3.技术指标要求3.1最大能够支持9英寸，兼容9英寸及以下方片及不规则碎片。3.2半导体激光器光刻激光器：3.2.1 激光波段405nm：3.2.2 激光能量2300mW；3.2.3 激光器般使用寿命至少IoooO小时，激光器保证使用寿命至少5000小时或一年。3.4样品台系统：3.4.1 采用HeNe激光干涉仪控制样品台线性马达的移动，其分辨率
5、WIOnm;3.4.2 最大支持样品厚度26mm：3.5激光读写头：3.5.1 设备可由用户更换不同分辨率的激光读写头，更换操作需简单方便：3.5.2 至少配备可实现最小线宽分辨为600nm和lm二种激光读写头；3.5.3 具备自动聚焦控制，其自动焦距分辨率WIoOnm；3.5.4 激光头Z轴粗调范围：26mm。3.6曝光技术指标(60Onm线宽激光头)：3.6.1 最小线宽W600nm;3.6.2 线宽均匀性W60nm(3);3.6.3 对准精度W100nm(3);3.6.4 曝光速度26mr2min03.7曝光技术指标(lm线宽激光头)：3.7.1 最小线宽Hm；3.7.2 线宽均匀性13
6、0nm(3);3.7.3 对准精度250nm(3);3.7.4 曝光速度215Omm2mi3.8其他曝光技术指标：3.8.1 有效光刻面积：不小于20OmmX200mm。3.9其他3.9.1设备采用中国电压标准。配置符合中国有关标准要求的插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转换插座。商务需求说明：L“(一)免费保修期内售后服务要求”部分，请详细列明免费保修期内的售后服务要求，内容包括但不限于免费保修期限、售后服务人员配备、技术培训方案、质量保证、违约承诺、维修响应及故障解决时间、方案等。2.“（二）免费保修期外售后服务要求”部分，请详细列明免费保修期外的售后服务要求，内容包括但不限于零配件
7、的优惠率、维修响应及故障解决时间、方案、提供的服务等。3.“（三）其他商务要求”部分，如有补充，请详细列明。4.可在重点条款前标。（重点条款偏离扣分较重，但不废标）序号目录商务需求（一）免费保修期内售F后服务要求1维修及维护服务1.1各投标人应在投标文件中列明各主机、配件和易耗品的保修期限，并承诺提供整机免费保修期_年，终身维修。保修期内，年度定期预防性维护保养次数应不少于1次。保修期内免费更换零配件、免工时费。设备在保修期内需由原厂进行维修，出原厂维修报告。L2由设备制造商提供售后服务，12小时内响应,48小时维修到位（不可抗力情况除外）。消耗品和零配件供应及时，特殊情况下可提供备用方案.广
8、东省内有相应的维修机构，并出具证明文件。1.3投标人负责货物的终身维修，保证10年以上供应维修配件，如如果因机器和配件停产造成设备无法维修者（维修周期同故障处理条款内容），必须无条件免费更换整机保证完好使用。1.4免费提供技术咨询及软件升级，提供产品终身技术服务。1.5提供与产品原厂签订的售后服务协议书。1.6确保在指定实验室安装后设备性能达标。实验室位于深圳市深圳市坪山区国富文化创意产业厂区厂房四层。中标单位需确保其设备在该环境中能够正常使用。建议对隔振等环境因素有特殊要求的厂商提前到现场了解测试，并提供自己的解决方案。2质量保证2.1保修期内因质量问题停机不超过2次,因故障总停机时间不超过
9、1个月。否则延长质保期或更换新机。2.2保修期到期前一个月内投标人需提供设备运行状态评估报告及过保后设备维护方案，保证提供有效的非现场技术支持服务和联系方式。（二）免费保修期外售F后服务要求1维修零配件、消耗品和延续保修合同的报价Ll由设备制造商提供售后服务，12小时内响应,48小时维修到位（不可抗力情况除外）。消耗品和零配件供应及时，特殊情况下需提供备用机或其他临时解决方案。1.2保修期满后，投标人应以优惠价供应维修零配件、消耗品和延续保修合同。价格最高的前5项零配件、消耗品和延续保修合同的报价明细必须填写于零配件、消耗品和延续保修合同报价明清单中。1.3采购人可与投标人就优惠价进行谈判，但
10、优惠价不得高于投标人在投标文件的零配件、消耗品和延续保修合同报价明清单中承诺的维修零配件、消耗品和延续保修合同的报价。1.4设备制造商维修的货物经采购人验收合格，且设备制造商提供维修专用发票后，采购人支付维修费用。L5免费提供技术咨询及软件升级，提供产品终身技术服务。（三）更E他商务要求1交货要求Ll签订合同后，自收到采购人通知后_个日历日内交货L2投标人应提供货物的技术文件，包括但不限于设备配置清单、产品说明书、图纸、操作手册、维护手册（含维修密码及接口数据）、质量保证文件、服务指南等，所有外文资料须提供中文译本。文件应随货物一并交付至采购人指定地点。1.3提供的货物必须为全新、经检验合格的
11、产品。产品如需要计量检定的应提供相关计量检定部门出具的合法检定报告。1.4投标产品必须为整机原厂生产产品。1.5如为进口产品，必须具有报关证明文件、原产地证明和商检合格证明文件，必须提供原产国相关进口资料；不接受分厂、贴牌及非正当进货渠道产品。2运输、安装和验收2.1投标人负责将货物安全无损运抵采购人指定地点（深圳市坪山区国富文化创意产业厂区厂房四层），并承担设备的包装、运输、保险、装卸、安装调试、培训、商检及计量检测、关税、增值税和进口代理等费用。机器安装调试完毕，采购人正式投入使用后，无故障方签署验收报告，保修期自验收培训完成起开始计算。2.2采购人有权检验或测试货物，以确认货物是否符合合
12、同规格的要求，并且不承担额外的费用。如果发现所交货物与投标文件中所承诺的不符或存在质量、技术缺陷等,采购人可以拒绝接收该货物,投标人应在60天内采取补足、更换或退货等措施，以满足规格的要求，由此发生的一切损失和费用由投标人承担。2.3投标人负责货物的现场安装和调武提供货物安装、调试和维修所需的专用工具和辅助材料。投标人应在货物运至指定地点后7时间内开始安装调试,并在_天内安装调试完毕。2.4由投标人代表和采购人组成验收小组对产品进行验收。验收标准按照国家规定标准执行。经检验设备正常运作后签署验收报告,产品保修期自验收合格之日起算。3培训3.1中标人应派专业技术人员免费对采购单位指定人员进行定期
13、培训及指导，直至其完全掌握设备的使用和基本故障处理技术。3.2现场培训：中标人应提供现场技术培训，保证使用人员正常操作设备的各种功能，分为设备和应用培训。3.3集中培训：根据设备技术要求，可向中标人提供使用和维修技术人员培训。3.4计算机辅助培训：针对该机型的多媒体互动操作教学软件，方便学习掌握基本操作和各项高级功能。3.5网络教育：专业化产品俱乐部网站，提供与世界各地用户和专家进行网上交流和学习的平台，并随时了解最新的技术进展和各种教育课程、会议信息。4知识产权4.1投标人应保证采购人在使用该货物或其任何一部分时，免受第三方提出的侵犯其专利权、商标权、著作权或其它知识产权的起诉。投标人保证所
14、提供软件的合法性，所发生的任何知识产权纠纷与采购人无关。4.2采购人购买产品后，有权对该产品与其他设备进行配套、整合或适当改进，而免受侵犯专利权的起诉。4.3知识产权归属：双方共同进行的设备改造，知识产权应遵守双方约定，中标人不得在采购人不同意的情况下，泄露或销售相关技术内容或设备改造方案。5付款方式5.1合同签署后7个工作日内，采购人支付20%预付款。出货后凭出货凭证，采购人支付60%货款。货到验收合格后，中标人凭验收报告，采购人7个工作日内支付20%货款。6违约责任6.1货物抵达目的港90天内，如发现质量、规格、数量与合同的约定不一致，除保险公司或运输代理声明负责的以外，采购人有权根据中国
15、检验检疫局出具的检验证书要求换货或要求赔偿，所需费用（如检验费、退回次品运输替换货品的运费、保险费、仓储费、装卸费等）由投标人承担。6.2如果投标人没有按照约定日期交货，除不可抗力之外，如果投标人愿意支付罚金，则采购人应同意延期出运。罚金不超过迟延出运货物总价的5%。罚金比率为每七天1%,不足七天以七天计。如果投标人比规定的装运时间迟延六周，采购人有权解除合同。即使解除合同，投标人也应向采购人支付罚金。7其他7.1投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。7.2提供原厂技术彩页，原厂技术彩页必须支持投标产品。7.3消耗品/零配件供应及时（请附近期全部耗材成交目录），必须以本地最优惠价格提供。技术规格偏离表说明：请根据所填的“具体技术要求”详细填写下表的“序号”、“货物名称”、“招标技术要求”方面的内容序货物名称招标技术要求投标技术响应偏离情况说明
