团标《铸造单晶硅材料性能评价技术规范》.docx

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1、ICS27.160CCSH82团体准T/CPIAXXXX-202X铸造单晶硅材料性能评价技术规范TechnicalspecificationforperformanceevaIuationofCASTmonocrystaIlinesiIicon(报批稿)XXXX -XX-XX 发布XXXX-XX-XX实施中国光伏行业协会发布铸造单晶硅材料性能评价技术规范1范围本文件规定了铸造单晶硅材料的术语和定义、技术要求、检验方法、检验规则。本文件适用于铸造单晶硅锭开方后的硅块的性能评价。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版

2、本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T1550非本征半导体材料导电类型测试方法GB/T1551-2021硅单晶电阻率的测定直排四探针法和直流两探针法GB/T1557-2018硅晶体中间隙乳含量的红外吸收测量方法GB/T15582009硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法GB/T2297太阳光伏能源系统术语GB/T2828.1-2012计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划GB/T14264半导体材料术语GB/T260682018硅片和硅锭载流子复合寿命的测试非接触微波反射光电导衰减法GB/T290542019太阳能

3、电池用铸造多晶硅块3术语和定义GB/T2297和GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。11铸造单晶硅CastingmonocrystaIlinesiIicon引入单晶籽晶,以定向凝固法生长形成的单晶硅。4技术要求d1外观质量4.1.1 硅块应无目视可见的裂纹、崩边、缺口。4.1.2 硅块磨面后的红外探伤检测结果应无微晶、无阴影、无夹杂,每个硅块应测量4个侧面。4.1.3 硅块侧面的表面粗糙度Ra应不大于0.2阿。4.1.4 硅块的垂直度应为90。0.15。4.1.5 电学性能4.1.6 2.1硅块导电类型为P/N型。4.2.2P型硅块电阻率为0.5。Cm1.5cm,N型硅块电

4、阻率0.3Cm7Q-cm。4.2.3P型硅块尾部载流子寿命应不小于1.2s,头部载流子寿命应不小于3s,N型硅块载流子寿命应不小于5SoA4间隙氧含量和代位碳含量间隙氧含量应不大于4.OX101;atoms/cm3;代位碳含量应不大于5.0IO1atomscm3A位错缺陷硅块的任一横截面的光致发光(PL)测试图像上显示的位错缺陷面积比例应不大于横截面积的4.5%。A勺单晶面积比例铸造单晶硅片的单晶面积比例为:I类100%,99%WIl类VlO0%,90%WHl类V99%。小于90%为不合格品。5检验方法S1外观质量5.1.1 硅块的红外探伤检验按GB/T290542019,4.11的规定进行。

5、5.1.2 硅块侧面的表面粗糙度检验使用表面粗糙度仪。5.1.3 硅块侧面的垂直度检验使用万能角度尺或相应精度的量具。49电学性能的检验5.2.1导电类型的检验按GB/T1550的规定进行。5.2.2电阻率的检验按GB/T15512021的规定进行。5.2.3载流子寿命的检验按GB/T260682018的规定进行。S1间隙氧含量和代位碳含量的检验硅块的间隙氧含量检验在距离硅块底部30mm处取样,按GB/T15572018的规定进行;硅块的代位碳含量检验在距离硅块顶部30mm处取样,按GB/T15582009的规定进行。勺A位错缺陷的检验将开方后铸造单晶硅块最顶部切割出厚度30mm的硅块,利用光

6、致发光(PL)测试仪进行检验,计算出位错缺陷面积比例。AA单晶面积比例的检验利用晶花分选机,进行自动计算硅片的单晶面积比例。6检验规则A1检查产品应由供方质量监督部门进行检验,保证产品质量符合本文件及订货单(或合同)的规定,并填写产品质量保证书。A)组批硅块应成批提交验收,每批应由相同工艺生产的同一外形尺寸、导电类型和电阻率范围的硅块组成。A2检验项目6.3.1每批硅块应对外形尺寸、导电类型、电阻率、截流子寿命及表面质量进行检验。6.3.2每批硅块应对间隙氯含量、代位碳含量、位错缺陷进行检验。6.3.3每批硅块应对所切硅片的单晶面积比例占比进行检验。64取样规则6.4.1外观质量检验、红外探伤、硅块位错缺陷的检验应逐块进行。6.4.2导电类型、电阻率、载流子寿命的检验取样按GB/T2828.1-2012中一般检验水平11,正常检验一次抽样方案进行。6.4.3间隙氧含量、代位碳含量的检验取样从同一硅锭中间和边缘各取一硅块进行。6.4.4单晶面积比例的检验取样应对所切硅片逐片进行。AS结果判定6.5.1外观质量检验、红外探伤、硅块位错缺陷的检验结果不合格时,判该硅块不合格。6.5.2导电类型、电阻率和载流子寿命的检验结果按4.2的规定进行判定。6.5.3间隙氧含量、代位碳含量的检验结果按4.3的规定进行判定。6.5.4单晶面积比例按4.5的规定进行判定。

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