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1、加载气体、发生方式、测试方法1加载气体和发生方式加载气体应安全地注入污染物。根据具体需求决定注入量，本附录列出合适的加载试验浓度。1.1气体类可使用气瓶直接注入，但需确保浓度不过高，宜使用预先稀释过的气体。当试验额定风量下全尺寸净化装置时，为了在可接受的时间内完成试验，可使用未经稀释的气体。对于未稀释气体，应将气瓶放置于有效安全措施内。为确保设备的操作安全，应设置气体探测器和联动关断阀。设备中的废气排放应符合环保法规要求。应关注设备关闭和两个试验之间的吹扫排放问题。使用方应注意所有与污染物接触的表面都会存在吸附，有时还会发生有害的化学反应。1.2液体类液体物质注入试验设备之前须气化。注入方法因
2、加载物而异，但不论采用什么方法，都应满足本文件所规定的稳定性要求。常见气化技术包括雾化喷嘴和表面加热。1.3各类加载物质推荐加载浓度表1、2、3和4中给出本文件试验规定加载物的建议浓度。表1酸性气体加载物建议加载浓度，ppm(v)控制范围(1005)%二氧化硫9或90二氧化氮9或90氮氧化物9或90硫化氢9或90醋酸9或90表2碱性气体加载物建议加载浓度，ppm(v)控制范围(100+5)%氨9或90N-甲基2毗咯烷酮9或90表3VOC气体加载物建议加载浓度，ppm(v)控制范围(1005)%甲苯9或90异丙醇9或90异丁醇9或90正己烷9或90四氯乙烯9或90甲醛9或90硫醇9或90乙醇9或
3、90丁酮9或90丙酮9或90正丁烷9或90表4其他气体加载物建议加载浓度，ppm(v)控制范围(1005)%臭氧9或90氯气9或90一氧化碳9或90二氧化碳9或902气体检测设备使用方应针对污染物的特性选择设备。对于简化标准试验，推荐的方法包括：使用FID测量有机物，使用光化学传感器测量氮氧化物和氨，使用紫外荧光检测设备测量二氧化硫。红外光谱法FTIRS可用于检测多种气体。在线FID可能不适用于某些特定情况下的低浓度环境。若下游的在线FlD灵敏度太低，可采用TenaX管(GCfS或FID)、气体吸收管(离子色谱)等非原位手段。2.1 常见分析方法(在线分析)CPR采用化学浸渍纸卷型分析仪的比色
4、检测CLS光化学监测系统CPE受控电位电解ESC电化学传感器类设备FlD火焰离子化检测器FTIR傅里叶变换红外光谱ICS离子色谱监测系统IMS离子迁移率谱MGD使用不同类型压电谱振器的增量检测仪（有机物凝结质量）NDlR非衍射红外吸收NPDGC用氮磷检测器PAS声光发射PlD光离子化检测器P-GC便携式气相色谱仪UV吸附紫外分光光度UVL紫外线发光2.2 针对各种试验物质的推荐分析仪表表5、表6、表7、表8给出了表1、表2、表3、表4所列加载物质的推荐分析技术。表5酸性气体化合物所用技术二氧化硫UVL,CPR,FTIR氮氧化物CLS.CPR、FTIR二氧化氮硫化氢UVL,CPRFTIR醋酸PA
5、S,FID、FTIR表6碱性气体化合物所用技术氨CLS,PAS,CPR、FTIRN-甲基2毗咯烷酮FIDxNPD.FTIR表7VOC气体化合物所用技术甲苯PAS,PID,FID,UV,FTIR异丙醇PAS,PID,FID、FTIR异丁醇PAS,PID,FID、FTIR己烷PAS,FID、FTIR四氯乙烯PAS,PID,FID、FTIR甲醛PS,CPE、FTIR硫醇PAS,UVL、FTIR乙醇PAS,FID、FTIR丁烷PAS,FID、FTIR表8其他气体化合物所用技术臭氧UV,CPE、FTIR氯气CPE,UV、FTIR一氧化碳CPE,PAS,NDIR,FTIR二氧化碳CPE,PAS,NDIR,
6、FTIR2.3非在线技术除在线分析技术外，还有可用于测量特定物质的非原位分析技术，常应用于工业环境检测，也可应用于般通风净化试验。进行洁净室空气分子污染（AMC）的检测时，需从风道或环境中采样，还需满足检出限要求的非在线分析技术。2.3.1 常见非在线分析采样方法包括，但不限于：DIFF被动扩散采样器DSE液滴扫描提取DT扩散管FC过滤式采集器IMP带合适溶剂的多级撞击采样器SB直接采集风道空气的采样袋SOR吸附管VPD气相分解WW用作采器的晶圆挂片或挂板2.3.2常见非原位分析方法包括，但不限于:AA原子吸收光谱法AA-F原子吸收光谱法火焰AA-GF原子吸收光谱法一一石墨炉AES原子发射光谱
7、法APl-MS大气压电离质谱法CL化学发光CZE毛细管区带电泳法DSE-TXRE液滴扫描提取一一全反射X射线荧光光谱法FTlR傅里叶变换红外光谱法GC-MS气相色谱质谱联用法IC离子色谱法ICP-MS电感耦合等离子体一一质谱法MS质谱法TOF-SlMS飞行时间一一二次离子质谱法TXRF全反射X射线荧光光谱法UVS紫外光谱法VPD气相分解法VPD-TXRE气相分解一一全反射X射线荧光光谱法2.3.3不同浓度范围的推荐采样和分析技术表9给出了非原位分析技术的适用浓度范围。表9各种浓度范围的采样和分析技术化合物浓度,AMCISOn级(10ngms)012345酸碱IMP,ICIMP,IC,CPR有机物SOR、SB；GC-MS无机物IMP；AAsAA-FsAA-CF、UVS、ICP-MS化合物浓度，AMCISOn级(IOng?)6789101112酸IMP,IC,CPR,DIFFIMP,IC,DIFFIMP,IC,IMP,CZEDIFF,CZE碱IMP,IC,DIFF,IMSIMP,IC,CZE有机物SOR：GC-MS无机物IMP；AA,AA-F,AA-CF,UVS,ICP-MSIMP,UVS,ICP-MSICP-MS
