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2、PECVD 岛津工艺腔岛津工艺腔岛津进料出料腔岛津进料出料腔 漏气真空问题 岛津岛津PECVD 漏气真空问题 真空泵问题 岛津岛津PECVD爱发科油泵岛津岛津PECVD爱发科增压泵真空泵问题 Roth&Rau PECVD爱德华GV600干泵岛津岛津PECVD普旭DS160干泵真空泵问题 Roth&Rau PECVD爱德华GV600干泵冷却水流量计Roth&Rau PECVD爱德华GV600干泵氮气压力计漏气真空问题 岛津岛津PECVD角阀角阀Roth&Rau PECVD磁流磁流体体漏气真空问题 Roth&Rau PECVD角阀角阀微波法兰微波法兰漏气真空问题 岛津岛津PECVD H/C腔侧门及
3、腔侧门及密封圈密封圈岛津岛津PECVD磁流体磁流体漏气真空问题 Roth&Rau PECVD 密密封圈封圈磁控管微波电源Roth&Rau PECVD磁控头Roth&Rau PECVD磁控管磁控管微波电源Roth&Rau PECVD微波微波电源电源射频电源射频电源 岛津使用的射频电源磁控管微波电源Roth&Rau PECVD U型型槽槽加热板加热管问题Roth&Rau PECVD接触器接触器接触器接触器加热板加热管问题Roth&Rau PECVD加热加热板损坏后报警板损坏后报警加热板加热管问题Roth&Rau PECVD加热温控加热温控加热板加热管问题Roth&Rau PECVD加热板法兰加热板
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