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硅片调至对应片盒,按顺序Class 硅片、 片盒,可以将硅片跑至设定好的片盒中(该功能不常使用)Centerline等全部修改完成后,点击测量F3(重新计算):calculate image。2、校正方法:和上述一样Ctrl A、B、C、D两个差距值得出,利用片厚(156000)两个差距值=?得出结果输入border laster line 1、2,保存即可。、:
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