扫描电镜操作规程.docx

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1、扫描电镜操作规程开机操作:1 .开变压器电源2 .开主电源3 .开真空(VACSWl键点亮)4 .开水箱电源5 .开操作系统(右手OPESWl键点亮)6 .开电脑(账户和密码均为SEMUSer)7 .开软件(桌面PjSEM)GUeSt账户,无密码8 .仪器进行自检,等待5分钟后,所有自检变绿通过,初始化样品台,主机上EXCHPoSN灯亮起。9 .推入样品,EXCHPoSN以及HLDR灯亮起10 .开电子枪Maintance-Gun-Starup电源会持续增加FilamentCurrent至2.29ExtractVoltage至3.011 .半个小时后电子枪稳定,SIP-l9E-8,SIP-22

2、E-612 .若真空读数稳定低于至5.0E4后,则可进行实验关机操作:1 .关闭主屏上观察OBSERATIONOFF2 .关电子枪Maintanence-Gun-Shutdown等待FilamentCUrrent慢慢变为03 .打开Camera,确认所有探头均退出样品舱,将样品取出或退到准备舱4 .关软件操作系统File-exit-exit5 .关闭电脑6 .关闭电镜操作系统(控制台右下方OPESW上0键点击变亮其中I键为开启)7 .关闭真空系统(控制台左下方VACSW。键)8 .关水箱(控制台右后方的白色箱子MAIN阀门拉下)9 .5分钟后,关闭主电源(控制台左下方MlANSWo键点亮)10确定备用电源处于工作状态(控制台面上左上方,白色盒子,工作时绿灯亮起,电流超过20UA)IL关闭变压器(机器后,最左侧蓝色箱子,阀门拉下)

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