半导体无尘车间安全工作规范.docx

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1、半导体无尘车间安全工作规范一、无尘车间须知1 .进入无尘车间前,必须知会管理人,并通过基本训练。2 .进入无尘车间严禁吸烟,吃(饮)食,外来杂物(如报章,杂志,铅笔等)不可携入,并严禁嘻闹奔跑及团聚谈天。3 .进入无尘车间前,需在规定之处所脱鞋,将鞋置于鞋柜内,外衣置于衣柜内,私人物品置于私人柜内,柜内不可放置食物。4 .进入无尘车间须先在更衣室,将口罩,无尘帽,无尘衣以及鞋套按规定依程序穿戴整齐,再经空气洗尘室洗尘,并踩踏除尘地毯(洗尘室地板上)方得进入。5 .戴口罩时,应将口罩戴在鼻子之上,以将口鼻孔盖住为原则,以免呼吸时污染芯片。6 .穿著无尘衣,无尘帽前应先整理三装以及头发,以免着上无

2、尘衣后,不得整理又感不适。7 .整肃仪容后,先戴无尘帽,无尘帽的穿戴原则系:(1)头发必须完全覆盖在帽内,不得外露。(2)无尘帽之下摆要平散于两肩之上,穿上工作衣后,方不致下摆脱出,裸露肩颈部。8 .无尘帽戴妥后,再着无尘衣,无尘衣应尺?合宜,才不致有裤管或衣袖太短而裸露皮肤之虞,穿衣时应注意帽之下摆应保平整之状态,无尘衣不可反穿。9 .穿著无尘衣后,才着鞋套,拉上鞋套并将鞋套整平,确实盖在裤萱之上。10 .戴手套时应避免以光手碰触手套之手掌及指尖处(防止钠离子污染),戴上手套后,应将手套之手腕置于衣袖内,以隔绝污染源。11 .无尘衣着妥后,经洗尘,并踩踏除尘毯,方得进入无尘车间。12 .不论

3、进入或离开无尘车间,须按规定在更衣室脱无尘衣,不可在其它区域为之,尤不可在无尘车间内边走边脱。13 .无尘衣,鞋套等,应定期清洗,有破损,脱线时,应即换新。14 .脱下无尘衣时,其顺序与穿著时相反。15 .脱下之无尘衣应吊好,并放于更衣室内上层柜子中;鞋套应放置于吊好的无尘衣下方。16 .更衣室内小柜中,除了放置无尘衣等规定物品外,不得放置其它物品。17 .除规定纸张及物品外,其它物品一概不得携入无尘车间。18 .无尘衣等不得携出无尘车间,用毕放置于规定处所。19 .口罩与手套可视状况自行保管或重复使用。20 .田可东西进入无尘车间,必须用洒精擦拭干净。21 .停可设备的进入,请知会管理人,在无尘车间外擦拭干净,方可进入。22 .未通过考核之仪器,禁止使用,若遇紧急情况,得依紧急处理步骤作适当处理,例如关闭水、电、气体等开关。23 .无尘车间内绝对不可动火,以免发生意外。

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