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1、科技专项对接活动成果征集表院所名称:浙江大学材料系(硅材料国家重点实验室)成果名称AZO透明导电薄膜研发及产业化项目简介:(包括项目的应用范围、主要性能、市场前景、成果来源及知识产权情况)Al掺杂Zno(AZO)是一种典型的透明导电氧化物(TCo)材料。我们从2000年开始,一直从事AZO薄膜的研发工作,关键性能指标处于国际领先水平,目前正在向产业化推广。AZO可在下述领域获得商业应用:(1) 基于AZo薄膜的光伏TCO玻璃,取代FTO薄膜,用于薄膜太阳能电池;(2) 以AZO薄膜为透明电极,取代半透明的Ni/Au电极,用于GaN-LED;(3) 为AZO薄膜为传感层,取代ITO薄膜,用于触摸
2、屏等显示器件;(4) AZ0CuAZO多层薄膜,用作LoW-E节能环保玻璃;(5) AZo薄膜作为TCO材料,室温生长具有高性能,用于柔性贴膜。技术特点(包括成果的成熟程度、创新性、先进性等):AZO薄膜电阻率低于IOYQcm,方块电阻低于20Csq;紫外吸收率接近100%,可见光透过率高于92%,红外反射率高于70%;粗糙度和绒度根据需求制备;不均匀性低于7%。AZO透明导电薄膜性能优异,技术成熟,性能指标国际先进。 透过率90%,电阻率10-410-5QCnl透明导电 原料丰富,价格低廉:Zn35/Kgf生产成本低 无毒无污染,环境友好f绿色环保 成膜性能好,易于制绒,适用于各种衬底一满足
3、实用要求 在等离子体中稳定,化学和热稳定性好一使用寿命长 抗辐射性能好,电子诱生缺陷低一适合于太空领域(nd) WUS-S 21SnoOV010203040Load (N)SEM(生长技术:投入与经济效益(产业化投入金额、产业化目标及预期经济效益)作为一种TCo玻璃,AZO可取代ITO和FT0,可广泛应用于:平板显示TCO玻璃、光伏TCO玻璃、低辐射(Low-E)玻璃、紫外吸收玻璃、全透明产品等领域。1、AZ0CuAZ0多层薄(有机衬底)包学校能与诚德封底上相近磁控减射,衬底:PC,生长温度:室温)2、AZO基多层薄膜(玻璃基板)23AZo基多层薄膜(玻璃基板)鼻彭某样品RSh(sq)RIR(
4、%)Tms(%)TC3)AZO/Cu/AZO2-10050%70-9010-4-1023、AZo单层薄膜(玻璃基板)() SUeWESSEM高导电率:Rs=5-400sq,p=10 高导电率(最优数值)S=7.9 sq,0=3.96 X10 4cm, =13cPVs, M=L21X10” cm (生长技术:磁控减射,衬底材料:PC,生长温度:室温)5、AZO单层薄膜(Si衬底)-10-5cm,=1-50cm2Vs,Ae=10201022cm3(生长技术:磁控溅射;生长温度:RT-500oC)4、AZO单层薄膜(有机衬底)可见光透射率90%SEMXRDIO一IicjiangljniveIWaxe
5、iength (nm透射谱.htajian DniveSEM(生长技术:磁控城射;生长温度:RT-500oC)支撑与保障(技术及团队、实施案例及其它)吕建国,博士,副研究员,博导,求是青年学者。2005.6:获浙江大学工学博士学位;2005.11-2007.11:日本京都大学博士后,JSPS外国人特别研究员;2007.12-今:浙江大学材料系硅材料国家重点实验室工作。主要研究领域:半导体薄膜与器件、纳米材料及应用。作为负责人,正在承担或完成国家和省部级科研项目10余项。作为主要成员,获国家自然科学二等奖1项(排名第三)、浙江省科学技术一等奖3项;获全国百篇优秀博士学位论文提名奖;入选浙江省15
6、1人才工程第三层次。拥有授权国家发明专利15项。作为第二作者,出版教材专著2部;参编英文专著1部。发表SCl论文127篇,影响因子IF3的论文35篇;论文SCl他引1900余次,引用超过50次的论文15篇,超过100次的论文5篇,H因子27。合作方式与费用:技术转让或合作产业化开发1、成果名称:AZO透明导电薄膜研发及产业化项目简介:Al掺杂ZnO(AZO)是一种典型的透明导电氧化物(TCO)材料。我们从2000年开始,一直从事AZo薄膜的研发工作,关键性能指标处于国际领先水平,目前正在向产业化推广。AZO可在下述领域获得商业应用:基于AZO薄膜的光伏TCo玻璃,取代FTO薄膜,用于薄膜太阳能
7、电池;以AZO薄膜为透明电极,取代半透明的Ni/Au电极,用于LED等;为AZO薄膜为传感层,取代ITO薄膜,用于触摸屏等显示器件;AZO/Cu/AZO多层薄膜,用作Low-E节能环保玻璃;AZO薄膜作为TCO材料,室温生长具有高性能,用于柔性贴膜。AZO薄膜电阻率低于10-4cm,方块电阻低于20Qsq;紫外吸收率接近100%,可见光透过率高于92%,红外反射率高于70%;粗糙度和绒度根据需求制备;不均匀性低于7%。AZo透明导电薄膜性能优异,技术成熟,性能指标国际先进。透过率90%,电阻率104105Qcm一透明导电原料丰富,价格低廉:Zn35/Kg生产成本低无毒无污染,环境友好T绿色环保
8、成膜性能好,易于制绒,适用于各种衬底一满足实用要求在等离子体中稳定,化学和热稳定性好一使用寿命长抗辐射性能好,电子诱生缺陷低适合于太空领域应用领域及前景:作为一种TCC)玻璃,AZO可取代ITO和FTO,可广泛应用于:平板显示TCO玻璃、光伏TCO玻璃、低辐射(Low-E)玻璃、紫外吸收玻璃、全透明产品等领域。1001、AZo单层薄膜(玻璃基板)- QoQQ 8 6 4 2 (左uc0 - EsUeJA高导电率:Rs=5-400sq,P=IO3-IO5cm,=1-50cm2s,Ne三1020-1022cm-3(生长技术:磁控溅射;生长温度:RT-500oC)2、AZO单层薄膜(有机衬底)IOO
9、可见光透射率90%Wxlecgth (nm)透射塔Iiejiang Uni、CfI ,,hejian50%70-9010-4-102(生长技术:磁控溅射,生长温度:室温)5001000150020002500Wavelength (rm)5、已开发应用的产品AZO取代Ni/Au和ITO用于GaNLED透明电极,发光效率提高7%;发明了用于光伏TCO玻璃的AZO薄膜盐腐蚀液制绒的新方法,取代FTO电极用于薄膜太阳电池,光电转换效率略有提升,降低成本20%;AZo取代ITo用于触摸电容屏,响应速度低于50ms,降低成本15%以上;设计了AZOCuAZO三层薄膜体系,用于LOW-E玻璃。部分研究成果
10、已与公司合作,开发出新产品,小试生产。期待与更多公司合作,共同开发新技术、新产品,实现产业化应用。科研成果征集(推介)表项目名称Zno基透明导电薄膜院校浙江大学技术领域新材料成果简介:AZO为AI掺杂Zn0,是一种典型的透明导电氧化物(TCO)材料,可取代目前商业广泛应用的In2O3:Sn(ITO)和SnO2:F(FTO),是新一代的TCO薄膜。应用于实际生产,可大幅度减小能耗,降低成本,提高性能。AZO薄膜电阻率低于10-4cm,方块电阻低于20sq;紫外吸收率接近100%,可见光透过率高于92%,红外反射率高于70%;粗糙度和绒度根据需求制备;不均匀性低于7%。应用领j作为TCO玻无品等领域图示或与前景:1.种TCc)玻璃,AZO可用短光伏TCO玻璃、低辐射为AZO单层TCo玻璃与AcZZ*cpn*vI代T(LOZO/C0和FTO,可广泛应用于:5Iw-E)玻璃、紫外吸收玻璃、W:u/AZO多层TCO玻璃。.Z板显示上透明产合作方式与费用:合作方式:主要为产学研合作研发,也可考虑其它合作方式。费用:面谈。专利名称室温条件下制备A1掺杂ZnO透明导电薄膜的方法系列专利类别发明专利专利号.6.1