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1、HITACHI日立X-Strata920荧光测厚仪二157-639-31258二浩正科仪智能二主要规格参数序号项目内容1元素分析范围Ti-U2测量层数底材上面4层3测量方向(射线照射方向)从上往下，即使样品表面有一定的幅度或不平整等情况也可轻易对焦4X射线源超薄Be窗微聚焦,W阳极靶射线管产生高通量X射线，经过准直器，得到细束X射线。这个“聚焦X射线束”可对小样品或者样品上小测试点进行高精度的分析C5X射线接收器(探测器)高分辨率、大面积、封壶气的正比例计数器(PC)结合二次滤波器来最大化灵敏度，以获得最佳元素检测6准直器多准直器程控切换，配有2x2mil,210mil,6mil和l2mil共
2、四个准直器，适合大多数类型的样品。7高压发生器50kV11.0mA(50W)高压发生器，高压多档可调8二次滤光片钻二次滤光片，用于准确校正铜锲之间的相互干扰9数字脉冲处理器4096通道(CH)数字多道处理器脉冲累积消除功能的自动信号处理10视屏系统彩色CCD,30倍光学放大，样品分析区域在用户界面显示，清晰、易用。11Z轴自动对焦系统镭射用于Z轴自动精确定位X射线光管/检测器与被测样品到最佳测试距离。“一键操作”将Z轴测试头移动到最佳位置，同时将样品图像定焦（显示在屏幕上）。自动而简单的操作提高仪器测试的再现性，并将人为测量误差降到最低。注：最佳测试距离为12.7mm,由X射线测试头自动调节高
3、度（Z轴）。12外形尺寸宽X深X高mm:约610X1037X375mm（不含电脑等）13XY程控样品台开槽设计，样品台长X宽mm:60X560.最高可容纳样品高33mm。样品台配有激光对位点，方便对准样品待测位置，可编程自动测量多个点。14电源85130或215265伏特，频率范围47Hz到63Hz15能耗小于1000W16重量97kg17工作温度10至4018空气相对湿度相对湿度W98%,无冷凝水19计算机主流配置:电脑一台，不低于i516G500G+256G注：由于计算机系统更新快速，实际配置等同或优于上述规格。20操作系统MicrosoftWindows测试精度序号项目内容1可测量的镀层元素范围元素周期表中22号钛元素到92号铀元素2可测量的镀层层数最多可同时测量4层（不含基材）3可测镀层厚度范围通常约0.03微米到30微米，根据不同镀层元素和镀层结构不同而不同。4典型准确性第一层（最表面层）：0.025微米或5驰以较大者计，或更好；第二次（次表面层）：0.050微米或10%以较大者计，或更好；第三层0.075微米或15%以较大者计，或更好；（按操作规程，采用03mm准直器，对随仪器配置的标准片进行连续10次测量，测量平均值与标准片标称值之间的差异作为准确性数据）*持续改进是我们的宗旨，对上述参数，我们保留在不通知的情况下做调整的权力。
