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1、气相空气净化材料及装置性能试验设备性能、确认及维护要求1本附录的表格给出了在试验台制造、校准、调整中需重点关注的事项，以确保试验台性能符合本文件的要求。本文件规定的是试验台基础性能，而非指明具体设备，试验台制造方及使用方应证明试验设备符合本文件要求。2表1给出了相关参数传感器测量的容许误差，可通过校准实现。表2给出了试验台主要性能要求，应检查并确认其符合本文件要求。这些验收条件通常通过相应的测试来验证其合格。表3给出了需要定期进行的试验、维护和校准，确保试验台持续给出可靠、可重复测试结果的能力。表1传感器测量的容许误差章设备要求备注5风量测量2%相对于实际读数6风量测量3%相对于实际读数5、6
2、压差测量2%相对于实际读数5、6温度测量0.5。C相对于实际读数5、6气体传感器或分析仪+1.5%相对于实际读数5、6相对湿度测量+1%相对于实际读数5、6环境压力测量+3mbar相对于实际读数表2试验台性能要求章参数或试验项目要求备注5、6试验台导电和接地检测电势5、6温度23C0.5C用经校准的温度计检测5、6相对湿度50%3%用经校准的湿度传感器检测5净化材料试验装置管道和试验腔的密封按第5章或附录D确定的风量，500Pa时渗漏量试验风量0.2%按符合标准要求方法检测6净化装置试验风道密封性按第5章或附录D确定的风量，500Pa时小于100L/min按符合标准要求方法检测5净化材料试验装
3、置背景浓度1%加载气体浓度无加载气体时检测6净化装置试验装置背景浓度G1为0.95L05每天5、6无净化材料及净化装置忖的空态阻力每次试验5、6背景浓度居加载气体的总浓度每天每个所用分析仪5、6标定检测器和分析仪符合仪器标定要求6净化装置试验装置浓度均匀性5%试验台每次改动之后5、6浓度稳定性5%质量流量控制器的改动、维修、修理之后5、6空态监测C、G、K、RR、ARQ,准确度符合第5、6章的规定每次试验前每分钟检测1组，共测5组6净化装置试验装置管道气密性试验1001/rain每年5净化材料试验装置管道气密性试验500Pa时0.2%每年5、6风量校准3%每年5、6压差传感器校准2%每年5、6温度和湿度传感器校准1%每年5、6气体分析仪器重复性5%每年5、6试验台和组件的清洗需要时
