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1、Ti2纳米颗粒的制备、光催化性能及羟基自由基研究第一作者2,第二作者2（1.XXXX大学XX学院,山西太谷030801；2XXXX大学XXXX学院,山西太原030006）摘要：针对金属层间介质以及MEMS等对氧化硅薄膜的需求，采用等离子增强型化学气相淀积（PEevD）技术，以SiHJ和为反应气体，低温制备了Si（薄膜。利用椭偏仪、应力测试系统对SiO?薄膜的厚度、折射率、均匀性以及应力等性能指标进行了测试，探讨了射频功率、反应腔室压力、气体流量比等关键工艺参数对SiCh薄膜性能的影响。结果表明：SiO?薄膜的折射率主要由MO/SiHi的流量比决定，而薄膜均匀性主要受电极间距以及反应腔室压力的影
2、响。通过优化工艺参数，低温260C下制备了折射率为1.451.52（中文环境下，用波浪线表示数字范围），均匀性为064%,应力在T50T6MPa（量、单位和符号严格执行国家标准，不可使用非法定计量单位；数字与单位之间空一格）可控的SiOz薄膜。采用该方法制备的Si。?薄膜均匀性好，结构致密，沉积速率快，沉积温度低，且应力可控，可广泛应用于集成电路以及MEMS器件中。关键词：二氧化钛纳米颗粒；聚丙烯酰胺凝胶法；羟基自由基；光催化活性中图分类号：前言不编号。前言中应简明扼要地介绍直接相关的领域内国内外研究现状，并针对现状中存在的问题或空白，引出本文的研究目的和主要内容。引言最后对本文工作的介绍不要
3、与摘要和结论在文字表达上重复。引言中最好不包含图表和公式，不应详述同行熟知的基本理论。矢量水听器由于能够提供声场的矢量信息而成为当前国内外换能器领域研究的热点，1.eslie等将水听器安装在刚性的球形壳体中来测量水质点的振速，证实了水听器在低频段有较好的指向性。美国伊利诺斯州立大学的Fan等通过模仿鱼类侧线器官的工作原理，研制出了微流量传感器。波恩大学的IZadi等受鱼类侧线原理的启发，研究了纤毛式仿生微传感器。国内主要以哈尔滨工程大学、612厂、715所、声学所等单位为主积极进行矢量水听器技术研究，进行了大量湖海试，并初步实现了工程应用。但由于当前矢量水听器主要是同振式的，应用起来不太方便，
4、且都是采用多个加速度计组合的方式实现空间声信号的探测，大大增加了矢量水听器的体积，且组合结构基准面的选择、对称性和浮力平衡的精度问题也将直接影响着水听器的指向性能。薛晨阳等人于2008年提出了一种MEMS仿生矢量水听器,将MEMS技术与仿生学引入到传统的水声换能器领域，实现了矢量水听器的小型化，且可刚性安装，得到国内同行专家的关注。然而，该水听器的接收灵敏度偏低（灵敏度为T97.7dB）,且幅频响应波动较大。为此,本文改善了纤毛材料及纤毛与四梁微结构二次集成的问题，并设计了一种“半油半酯”的新型封装结构，旨在通过封装改进提高水听器的灵敏度和改善其频响曲线。1驱动原理（层次标题控制在3级之内，避
5、免使用4级标题，一律用阿拉伯数字连续编号,如:aa1.al.1.lO本文利用ANSYS软件对水听器结构进行了有限元仿真分析，纤毛的材料分别选用钢、塑料和光纤，材料属性如表1所示，建立的模型如图1所示。（正文中必须有与图/表呼应的文字出现在图/表的前面,且叙述应与图、表结果相符）沿y轴负半轴方向加载1Pa的载荷进行静态分析，得到不同材料纤毛的应力曲线。表1三种纤毛材料属性密度/弹性模量/Pa纤毛材料(kgm)泊松系数光纤2.32IO30.177.410,塑料1.181030.404.0IO9钢7.85XlO30.282.IXlO11图1矢量水听器结构有限元模型（图和表应在提到该图或该表的文字下方
6、出现，不提前也不延后。图中说明文字用中文。流程图、设备图要合理、简洁，不列与正文无关的内容）在压电晶体表面加载交流电压会产生交变电磁场，由于应力场和电磁场的耦合作用，表面一定深度内的质点会做椭圆形的周期性运动形成声表面波，声表面波沿压电衬底表面传播。依据上述模型，由参考文献12-13可得，声波经过水-聚氨酯-油三层介质的透声系数为(Zj+Zl)2cos2(2Z)(Z2+Z1Z3Za)2sm2(AZ)经过水-聚氨酯两层介质的声波透声系数为2亿+zj（2）式中：4%ZjZZZ3分别为海水、聚胺酯及油的特性阻抗；及为声波在聚胺酯中传播的波数；为聚胺酯层的厚度。（请用Word自带公式编辑器或EqUat
7、iOn排版，不要做成图片形式。公式依出现的顺序编号）公式中出现的变量应在公式前后逐一解释其含义。变量及其上下标的正斜体的确定方法：变量（如物理量符号、坐标轴符号和表示变动性数字的符号）用斜体，英文缩写字母用正体；矩阵、向量、矢量和张量用黑斜体。尽量用单个字母作变量，避免使用英文组合字符作变量；一篇论文中同一字母只能表示一个变量；同一变量的字母大小写要统一。）2实验（对实验设备、过程和条件的介绍应全面）2. 1压电衬底材料选择的特殊性本实验中器件在压电衬底材料的选择时必须考虑到以下3个因素。机电耦合系数X,人为表示压电晶体的电能与机械能之间转换效率的物理量，反映了换能器的效率。为了最大限度地降低
8、制造高频功率器件的难度，必须采用耦合系数较大的材料。晶体的周期性场条件。从固体物理学的观点看，声波在晶体内传播的过程中，任何晶体的缺陷和损伤都会引起周期性场条件的破坏，从而严重影响波的稳态传播。微细加工的可行性。考虑到所加工的器件的特性，材料必须可以用MEMS技术进行微细加工。2.2 器件制造图2给出了在低频子图像中应用本文算法提取目标的实验结果。(c)原始图像2(d)图像2目标提取结果图2SAR图像目标提取图2（八）和(C)是大小分别为256256的两幅SAR图像,图2(b)和(d)是应用本文算法提取出的目标，从提取的结果看，本文方法效果是非常好的，把所有的目标都提取出来了。每个分图应有单独
9、的题名，分别放在各分图下方，总题名应能够概括所有分图的意思。照片图要求图像清晰，层次分明，反差适中；电子显微镜和电镜照片应标明照片实际放大倍数或长度标尺。照片精度尽量保证在300dpio2.3 驱动系统搭建驱动系统由信号发生器、功率放大器和28V直流电源构成。其中，28V直流电源给功率放大器提供直流工作电源，调节信号发生器使其发生频率符合谐振频率(约为9.6MHz),从而实现液滴的驱动。随着燃烧温度的进一步升高，更多锐钛矿相转变为金红石相，使其失去最佳比例，导致光催化性能下降，同时粒径增大对光催化产生的不良影响也显现出来。另一方面，由于单相锐钛矿型Tio2的光催化性能优于单相金红石型TiO2。
10、当产物完全转变为纯相金红石型TiOz时，其光催化效率要低于纯相锐钛矿型TiO2o3结果(和讨论)结果和讨论宜分章进行。结果后面可以有对实验获得图表的分析，而讨论单独一章用来进一步探讨现象的产生根源，对结果进行理论提升。3. 1驱动模型fep2(x4z)d/对于直径一定的半球形液滴，Y是定值，与液滴相对于声表面波波源的位置无关。由于本实验中液滴的移动范围较小(014mm),在此范围内声表面波的衰减可以忽略不计，则与液滴相对于声表面波波源的位置无关，且对于直径一定的半球形液滴为定值。在液滴移动过程中，可以认为衬底对液滴的阻滞力,只与液滴的接触面积有关叫则对于直径一定的半球形水滴而言，也为定值。忽略
11、液滴在移动过程中所产生的质量损耗，则勿也为定值。综上所述,根据式(7),液滴的运动为恒加速运动，且其初速度为0。3.2实验结果压电石英并联电容前后的对比实验结果，如图3所示.石英晶片无并联电容石英晶片有并联电容1.e舞图3压电石英并联电容前后差异最后由压电石英力传感器的标定过程得到，无并联电容的灵敏度值为S=4.00pCN,并联0.1InF电容的灵敏度值区=4.07pCN,灵敏度提高了1.75%.坐标图一律采用封闭图，刻度线朝向图内侧，去掉无数字对应的刻度线，不用背景网格线。图中有多条曲线时，图例应采用易区分的标识。图尽量能在原文件中做，即不要将图存成GIF、BMP、PICT、WPG的图片格式
12、拷贝到文档中。横、纵坐标轴必须注明量和单位。组合单位用指数形式，如应该用Jkg1,而不用J/kg形式对得到的实验图像处理，得到位移-时间关系如图4所示，计算得到加速度a的值为0.138mmas0图中还给出了理论的位移-时间曲线以进行比较。实际的运动情况如下：在06s的时间范围内，液滴的运动是匀加速直线运动，这与理论情况较为吻合；而在610S的时间内，液滴明显是加速度变大的变加速运动，与理论情况相差较大。4结语本文中的实验采用了铝材料作为叉指电极对制造了基于SAW的液滴驱动器并实现了液滴的驱动，构造了液滴的运动模型。得到的驱动数据表明，在液滴损耗较小的情况下与理论情况基本吻合而在较大的情况下液滴
13、的运动与理论情况差距较大。提出了通过在衬底两次沉积疏水涂层形成导轨网络和调制激励信号的方式来实现二维数字微流体驱动检测技术。这种技术在生化检测方面具有较大的应用价值，下一步的研究将主要集中在导轨制造和生化检测端口的接入方面。(结论力求鲜明、精确，可引用一些关键的数据，但不宜太多，不要含图、表和参考文献。不要照搬引言和摘要。)参考文献：1汪冰.电子图书馆理论与实践研究M.北京：北京图书馆出版社，1997：56.2尼葛洛庞帝.数字化生存M.胡泳，范海燕，译.海口：海南出版社，1996:105.3胡铁生.区域教育信息资源建设模式和发展趋势J.信息技术教育，2005(8)：45-47.4杨赞.当代中国教育公平研究M.武汉：华中师范大学，2006:11-13.5萧锌.出版业信息化迈入快车道EB/01.(2010-04-22)2014-05-10.http:WWedoaswebsitel872infol2272.htm.6丁文祥.数字革命与竞争国际化N.中国青年报，2000-11-20(15).收稿日期：2014-09-24基金项目：本文系全XXXXXX立项课题“义XXXXX”（项目编号：090021）最终（或阶段性）成果。作者简介：（1976）,男，河北保定人，XXXX大学XXXX学院，副教授。
