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1、洁净厂房高纯气体管道施工工艺标准目录1、总那么222、高纯气体的三个主要参数223、管道材料选择234、施工程序255、图纸会审266、工程测定267、绘制管段图268、材料检查确认279、保护气体的供应和治理3010、管段预制3211、现场配管施工3412、压力试验3913、系统吹扫4114、系统测试42附录1露点、含湿量、绝对湿度换算表45附录2洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级48附录3EP/BA管自动氤弧焊接鸨棒尺寸表491 .总那么1.1 本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工.1.2 气体管道的干管,应敷设在上下技术夹层或技术夹道内，当与水、电管线共架时应设在其上部.1.3
2、当采用碳素钢支吊架、碳素钢管卡时必须是镀锌件,且不锈钢管道与其接触处应采用不产尘的非金属材料隔离.1.4 高纯气体管道的设计应符合以下要求：a.按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径,气体管道最小管径不小于46X1mm；b. 管道系统应尽量短；c. 不应出现不易吹除的盲管、死角；d. 管道系统应设必要的吹除口和测试取样口.1.5 气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝.管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封举措,并用装饰板封堵.1.6 可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管.放散管引至室外应高出屋脊1米,并应有防雨、防杂物侵入的举措.可燃气体和氧气管道还应符合?洁净厂房设计标准?8.
3、4平安技术举措的有关要求.1.7 高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处.2 .高纯气体的三个主要参数所谓高纯气体管道的洁净技术限制,主要是指气体纯度、枯燥度、洁净度的限制（即三度限制）.2.1 气体纯度指气体中杂质气氛的含量,通常用气体纯度的百分数表示，如99.9999%（俗称6个9）,也可用杂质气氛含量的体积比ppm、PPb表示.洁净厂房高纯气体管道系统建成的各个环节必须做到上流的合格气体流经厂房管道系统到达用气点的气体纯度仍能满足工艺对用气纯度的要求.2.2枯燥度气体中微量水分的含量,通常以露点表示,如露点.70,或以含湿量PPm表示,如含湿量2.584PPm.（两者的转换见附录1）2.3
4、 洁净度指气体中含有污染物粒子的数量,粒径为Um的粒子的个数，pcw.高纯气体管道通常使用在洁净的生产环境当中,对应的洁净环境等级,在?洁净厂房设计标准GB50073-2001?中，直接采用国际标准ISOI46444（详见附录2）对高纯气体洁净度的限制，当设计未加特别注明时,施工中对洁净度的限制应与使用空间的洁净度等级保持一致,严防气体中的污染物粒子超过规定值,而造成管路系统或洁净生产空间的污染.洁净厂房高纯气体管道的设计、施工治理,不同于一般工业气体管道，任何一个环节稍有失控,就可能影响输送气体的质量，从而导至无法生产出合格的产品.3 .管道材料选择将高纯洁净气体输送到各用气点而不被污染,在
5、很大程度上受管路诸多因素的影响,其中管材的选择显得十分重要.3.1 用于输送高纯气体的管道应具备以下性能a.管材的透气性要小；b.管材内外表吸附解吸气体的作用要小；c.内壁光滑、耐磨损；d.有良好的抗腐蚀性能;e.性能稳定，含碳量低.3.2 管道材料选择管道材料由设计选定，自行设计时应遵守?洁净厂房设计标准？的有关规定.a.能满足上述3.1要求的管材,对于气体纯度在99.999%以上或在空气洁净度等级中16级洁净室内时，以316L内壁经电抛光的不锈钢管（EP）为最正确选择，由于施工现场条件限制,管材应在制造厂脱脂、清洗、枯燥，并有双重膜包装,对于气体纯度为99.99%的洁净管道和枯燥空气管道可
6、选用内壁经机械抛光的304不锈钢管（BA）.注：316L的国内对应牌号为OoCrI7Nil4Mo2304的国内对应牌号为0Crl8Ni9b. 阀门及其它附件的选择阀门及其它附件的材质应与管材选用原那么一致,在采用不锈钢管材的管路系统中，不得采用铜材质的阀门，为保证阀门及管道系统的严密性和介质不受污染,应采用两端为焊接连接的无填料波纹管阀或隔膜阀.对于系统终端采用螺纹连接时,应采用VCR卡套连接；非焊接连接的垫片,对于氢、氧管道应采用金属垫片,其它高纯介质管道可采用聚四氟乙烯垫片，三通、弯头应采用与管材同材质的成品，为适应公司现有自动焊头的施焊条件,订货应注明对颈长L的要求（见下表）压力管道海T
7、T艺管子外径(mm)L(mm)图示6-19.0525.4-63.576.2-114.3236248255IJdH-1.V-LLlW4.施工程序5.图纸会审图纸会审应着重解决以下问题,为绘制管段图做好准备.a.图纸是否出自注册设计单位；b.设计选材能否满足介质纯度、枯燥度、洁净度要求；c. 用气工艺设备位置是否最终确定；d.管道走向应排除与其他管线打架现象,并最终确定走向；e.各支管三通位置确实定；f.管道支吊型式及支吊架材质的选定；g.检测口、吹扫口和放散管（氢气）位置的选定；h.氢、氧管道防静电接地的型式.6 .工程测定将土建专业提供的基准标高和基准轴线，用测量仪器移值到安装场所墙柱的适当位
8、置,并作出标识，以此确定管道所处位置.如与建筑结构发生矛盾时,再与有关方面协商调整,但最终应反映（应）到竣工图上.7 .绘制管段图7.1 凡施工图已提供透视图的,可利用透视图作为管段图,无透视图时应在施工前绘制管段图.7.2 不可将几个管道系统绘制在一张图上,一个小系统,可绘制在一张图纸上,大系统可分段绘制在几张图上,但应标出连接符号.7.3 无论是利用透视图还是自绘管段图均应标注各管段直径、长度、标高和阀门、三通、法兰等的位置,还应分别标出预制组件的焊口（即死口）和现场焊接的焊口（即活口）位置,并在图中顺序标出焊口号.7.4 图中标注的各项尺寸应是现场实测的尺寸.7.5 对一个系统分段予制的
9、原那么是：a.尽可能减少现场（安装场所）焊接的焊口数,大量的焊接工作尽可能在预制间完成；b.现场焊接的焊口应设在便于操作的位置；c.予制组件的大小应尽可能大一些,但不可无限制的大,既要考虑预制房面积的限制,也要考虑搬运安装所经通道和门洞的限制.7.6 洁净厂房内高纯气体管道的预制场所,其洁净要求应与管道安装场所的洁净度要求一致,否那么将很难限制所预制的管道不受污染,因此预制房的搭建是不容无视的.管道可能安装在不同洁净等级的房间,应按安装场所的最高洁净等级的要求来搭建预制房.7.7 预制房应尽可能在厂房暂不使用的房间内搭设,当不具备这种条件时，可就近先搭设符合挡风挡雨要求的临时建筑,再在其内搭设
10、临时预制洁净室（房）.预制房的长、宽、高应能满足预制工作的要求.一般宜采用长X宽X高=7.2米X3.6米X2.2米的规格,用防静电厚塑料膜围护,采用FFU或高效过滤器及低压风机用风管连通（要有调节阀，以获得必要的室内正压），完成上送风、下侧四周排风的空调系统.室内要有充足的照明.8 .材料检查确认本检查为在现场接收管材、零部件时,验证是否满足订货书要求而进行的外观检查和确认.8.1 供检查的环境到货的材料应是有双层薄膜包装的洁净材料.材料从接收开始,不得受到污染.a.外包装完好情况的检查,在非洁净区进行,但在折除外包装后应立即搬入洁净厂房或预制加工洁净房内；b.内包装的开封必须在洁净室或预制加
11、工洁净房内进行，以保证材料不受污染.检查完成后,对暂不用的材料应立即重新用薄膜袋包装密封并置于洁净区妥善保管.8.2 检查对象a.管材b.管子附件（三通、弯头、变径管等）c.阀类（阀门、减压阀等）d.计器类（压力计、压力传感器、压力线圈等）e.设备类制成品（筒、箱、阀盒等）8.3 检查工程NO检查工程管材管件阀类计器类设备类、制成品1外观检查000002数量检查000003规格尺寸004材质检查00XXX0：全数检查：抽查5%x：不检查8.4 外观检查和质量要求8.4.1 管路系统的管材、阀门和所有附件,必须严格按设计要求选购,不得随意更改或代换.8.4.2 管材到货后应置于室内精心保管,杜绝
12、露天堆放、日晒雨淋.8.4.3 到货的管材,两端应有塑料密封帽密封严密,无破损和脱落；有双层塑料薄膜密封包装，不得有破损.8.4.4 阀门、管件应有塑料袋密封包装,无破损.8.4.5 管子、阀门、管件等,使用前按10.1、10.2、10.3的要求切实进行下列外观检查：a.管子直径、壁厚符合订货要求,且壁厚均匀；b.管子应平直、圆滑、无局部凹陷、无压入物、无刮伤、碰伤和挤压等缺陷；C.无裂纹、缩孔、折叠、重皮和凸筋等缺陷；d无锈蚀、锈斑等痕迹；e.内外表的粗糙度是否符合设计要求,螺纹是否有损、保护是否良好；f内外表是否有尘埃、油脂,确认管子是否已经净化处理；g内面电抛光薄壁不锈钢管的进货要有出厂
13、合格证书和相关材质证明.当进货的管材受到质疑时,应抽取各种规格的管材,在管子的任何部位,随机切下60mm长的管段,并沿轴向剖开,在显微镜下对照样板验证内外表的相对粗糙度RmaX是否符合设计要求,是否与出厂文件中所标注的内容与精度相符,净化处理是否符合要求；h.查看管子外包装和管端密封帽是否有效；1.法兰的密封面应平整、光滑,不得有毛刺及径向沟槽,凹凸法兰应嵌合准确，凸面的高度不得小于凹槽的深度；j.非金属垫片应质地柔软、无老化及分层现象,外表不得有折损及皱纹等缺陷；金属垫片外表不得有裂纹、凹槽、毛刺、径向划痕及锈斑等缺陷.8.5 不合格品的处置经检查假设不能符合质量要求时,应予退货或经商定留作
14、降级使用.8.6 验收后的保管经检查验收后,在规定的仓库或现场妥善保管,材料库应是专用库房，不得和其它物资混放,管子、管件、阀门要分类保管.9.保护气体的供应和治理9.1 气体供应装置保护气体为高纯氮气,其纯度指标不得低于管道系统要求的纯度,氨气的供应采用低温液化气容器或高压瓶装氨气.系统装置见以下图（其中虚线框内的装置,在采用液氨时才配置）：9.2供应治理气体过滤器计量流IMXXT*保护气体罐水分计9.2.1 在供应联箱上安装水分计，以确认、记录气体的供应纯度9.2.2 保护气体供应开始后,保持连续通气，以保证配管内的纯度.9.2.3 流量限制a.焊前吹除可参照以下图选择流量和吹除时间b.焊接时的气体流量参照以下图选用：按焊接通气量的1/4通气.9.3气体供应治理记录定期检查气体供应情况：a.供应联箱：气体纯度（水分）、供应压力，并记下记录时间；b.气瓶：剩余量、压力、使用情况,并记下记录时间.10 .管段预制10.1 预制环境及其治理10.1.1 为保持预制件的洁净度,管段预制应在预制洁净室内进行10.1.2 为保持预制环境的洁净度，以下各条规定应每日进行一次检查,并保持记录.a.按拟定的必须的室内洁净等级,保持FFU运转正常,工作有效；b.作业人员应着洁净服、洁净鞋、洁净帽、洁净手套进行作业；c.洁净服、洁净鞋、洁净帽要经常保持清洁；d.洁净室内由专人进行作业
